[发明专利]一种多个杯子测量离子束流垂直角度的方法在审
申请号: | 201910980740.9 | 申请日: | 2019-10-15 |
公开(公告)号: | CN112666593A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 王肇龙 | 申请(专利权)人: | 北京烁科中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | G01T1/29 | 分类号: | G01T1/29;G01R19/00 |
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地址: | 101111 北京市通*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 杯子 测量 离子束 垂直 角度 方法 | ||
1.一种多个杯子测量离子束流垂直方向角度的方法,其特征在于:利用7个角度法拉第杯(2)测量离子束流垂直方向整体角度的方法,这种方法通过选择7个法拉第杯子(2)采集终端靶室内的束流,并将得到的流强数据保存,利用算法程序加以拟合,计算出较为准确的垂直角度。
2.一种多个杯子测量离子束流垂直方向角度的方法,其特征在于:角度法拉第(1)由7个矩形法拉第杯(2)在水平方向进行等距规律的紧密排列构成,当离子束流投射或通过角度法拉第时,通过选取通道控制打开相应杯子,能够实时的通过多个矩形法拉第杯(2)采集束流的流强信息。
3.一种多个杯子测量离子束流垂直方向角度的方法,其特征在于:通道选择杯子(2)后,当离子束流打到杯子的栅格结构(3)时,栅格结构导电将束流流强转成电流信号进行采集记录。
4.一种多个杯子测量离子束流垂直方向角度的方法,其特征在于:计算垂直角度的物理模型如图3所示,假设接收到的流强与照射面积成正比,则有如下关系:
其中L1、L2和h代表角度杯栅格结构的长宽高,θ表示角度法拉第与水平方向的夹角,θ0和D0表示束流整体角度,和束流全部通过时的dose(流强),则可知当角度法拉第转到与束流整体角度平行时,束流几乎全部通过,栅格接收到的流强最小,软件程序读取采集得到的数据,并简化物理模型,利用函数拟合计算得到流强最小时的角度,即为离子束流垂直方向整体角度。
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