[发明专利]一种消除电极电荷积累的方法在审
| 申请号： | 201910981013.4 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112670149A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 金洲 | 申请（专利权）人： | 北京烁科中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 消除 电极 电荷 积累 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种消除电极电荷积累的方法，包括：高压电源A(1)、正电极A(2)、地电极C(3)、高压电阻A(4)、恒流源A(5)、高压电源B(8)、负电极B(9)、高压电阻B(3)、恒流源B(4)。
2.一种消除电极电荷积累的方法，其特征在于：高压电源A(1)输出直流正电压，提供给正电极A(2)一个正电位，其与地电极C(3)之间形成一个正电场，用于离子束的加速并使其获得满足工艺要求的初始能量；由于加速后的离子束会轰击到电极A(2)上，使电极A上积累正电荷(6)，会使其上的电位不稳定；高压电阻A(4)构成回路，恒流电源A(5)提供的电子(7)不断地流入电极A(2)用于中和其上所积累的正电荷(6)，保证电极A(2)上电位的稳定；高压电源(8)输出直流负电压，提供给负电极B(9)一个负电位，其与地电极C(3)之间形成一个负电场，用于抑制离子束中电子(12)的发散，在此过程中电子(12)会轰击到电极B(9)上，使电极B(9)上积累电子(12)，会使其上的电位不稳定；高压电阻B(10)构成回路，恒流电源B(10)提供的正电荷(13)不断地流入电极B(9)用于中和其上所积累的电子(12)，保证电极B(9)上电位的稳定。
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