[发明专利]一种多界面磁性异质结的制备方法

权利要求书

1.一种多界面磁性异质结的制备方法，其特征包括如下步骤：

1)、将纳米核二氧化锰或四氧化三锰基底材料分散于乙醇溶液中，制备悬浊液浓度范围为6-30g/L，将此悬浊液均匀滴在干净的玻璃器皿内，于小于等于60℃的真空干燥箱内干燥处理；

2)、将干燥后的纳米二氧化锰或四氧化三锰基底材料放入ALD腔体中，腔体压力设定为10-300Pa，腔体温度设定为150-400℃，前驱体加热温度设定为30-150℃，运输前驱体的管路温度设定为100-300℃；

3)、将铁源或锡源前驱体脉冲至反应腔体，待铁源或锡源前驱体与基底样品充分发生化学吸附反应后，向反应腔体内通入氮气或氩气，将未吸附的铁源或锡源前驱体排出腔体；随后将臭氧氧源前驱体脉冲至沉积腔体，待氧源前驱体和铁源或锡源前驱体充分反应后，向反应腔体内通入氮气或氩气，通过清洗将未反应的氧源前驱体和反应副产物排出腔体；

4)、重复步骤3)1-10次，获得磁性三氧化二铁或氧化锡沉积层；

5)、将锡源或铁源前驱体脉冲至反应腔体，待锡源或铁源前驱体与基底样品充分发生化学吸附反应后，向反应腔体内通入氮气或氩气，将未吸附的锡源或铁源前驱体排出腔体；将臭氧氧源前驱体脉冲至沉积腔体，待氧源前驱体和锡源或铁源前驱体充分反应后，向反应腔体内通入氮气或氩气，通过清洗将未反应的氧源前驱体和反应副产物排出腔体；

6)、重复步骤5)1-10次，获得氧化锡或磁性三氧化二铁沉积层；

7)、以依次完成步骤4)和6)为1次沉积循环计算，重复步骤4)和6)10-1000次，获得具有核壳结构的多界面异质结；步 骤4)和6)得到两种不同的沉积层。

2.如权利要求1所述的方法，其特征是所述步骤3)中将铁源或锡源前驱体脉冲至反应腔体，脉冲和等待时间分别设定为20-80ms和10-20s。

3.如权利要求1所述的方法，其特征是所述步骤3)中氧源前驱体脉冲至沉积腔体，脉冲和等待时间分别设定为20-80ms和10-20s。

4.如权利要求1所述的方法，其特征是所述步骤5)中将锡源或铁源前驱体脉冲至反应腔体，脉冲和等待时间分别设定为20-80ms和10-20s。

5.如权利要求1所述的方法，其特征是所述步骤5)中将臭氧或去离子水氧源前驱体脉冲至沉积腔体，脉冲和等待时间分别设定为20-80ms和10-20s。

6.如权利要求1所述的方法，其特征是向反应腔体内通入氮气或氩气10-20s。