[发明专利]基板输送装置和基板输送方法

权利要求书

1.一种基板输送装置，其特征在于，

该基板输送装置包括：

基座；

保持部，其以相对于所述基座进退自如的方式设置且能够上下多层地保持多张基板；

检测部，其至少设有3个，所述检测部配置于所述保持部的上方或下方，用于分别在不同的位置对由所述保持部保持着的所述多张基板的外缘进行检测；以及

控制部，其根据至少设有3个的所述检测部所检测的所述多张基板的外缘的检测结果来计算假想的基板的位置，并对计算出的所述假想的基板的位置与预先决定的基准位置之间的偏离量进行计算，并进行判断计算出的偏离量是否在阈值以内的错位判断处理，在所述错位判断处理中判断为所述偏离量在阈值以内的情况下，执行由所述保持部保持着的所述多张基板的输送。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

所述控制部在所述错位判断处理中，将假定为相邻的两个所述检测部对同一基板的外缘进行了检测的情况下的该基板作为所述假想的基板，根据该相邻的两个所述检测部的检测结果来对该假想的基板的自所述基准位置偏离的偏离量进行计算，针对其它相邻的两个所述检测部也根据该其它相邻的两个所述检测部的检测结果进行所述偏离量的计算，并对计算出的多个偏离量的最大值是否在阈值以内进行判断。

3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，

所述控制部在所述错位判断处理中计算第一坐标和第二坐标，所述第一坐标是基于所述相邻的两个所述检测部中的一方的所述假想的基板的外缘的检测位置的坐标，所述第二坐标是基于所述相邻的两个所述检测部中的另一方的所述假想的基板的外缘的检测位置，并根据所述第一坐标、第二坐标以及所述假想的基板的已知的半径计算所述假想的基板的中心位置的坐标，对计算出的所述假想的基板的中心位置的坐标的自所述基准位置偏离的偏离量进行计算。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板输送装置，其特征在于，

当在所述错位判断处理中针对所有的所述检测部判断为所述基板的外缘被包含在该检测部的检测范围内的情况下，所述控制部对所述偏离量是否在阈值以内进行判断。

5.根据权利要求4所述的基板输送装置，其特征在于，

在所述错位判断处理中针对所有的所述检测部判断为所述基板的外缘被包含在该检测部的检测范围内并进一步判断为被该检测部检测到的所述基板的外缘被包含在该检测部的检测范围中的规定范围内的情况下，所述控制部对所述偏离量是否在阈值以内进行判断。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的基板输送装置，其特征在于，

所述控制部在通过使所述保持部保持在承载件中收纳的所述多张基板来将所述多张基板从所述承载件输出之后，进行所述错位判断处理，在所述错位判断处理中判断为所述偏离量在阈值以内的情况下，将保持在所述保持部的所述多张基板进行输送并将所述多张基板输入到能够收纳所述多张基板的交接部。

7.一种基板输送方法，其是基板输送装置中的基板输送方法，该基板输送装置包括：基座；保持部，其以相对于所述基座进退自如的方式设置且能够上下多层地保持多张基板；以及检测部，其至少设有3个，所述检测部设置于所述保持部的上方或下方，用于分别在不同的位置对由所述保持部保持着的所述多张基板的外缘进行检测，其特征在于，

该基板输送方法包括以下工序：

检测工序，在该检测工序中，使用至少设有3个的所述检测部分别在不同的位置对由所述保持部保持着的所述多张基板的外缘进行检测；以及

控制工序，在该控制工序中，根据至少设有3个的所述检测部所检测的所述多张基板的外缘的检测结果来计算假想的基板的位置，并对计算出的所述假想的基板的位置与预先决定的基准位置之间的偏离量进行计算，并进行判断计算出的偏离量是否在阈值以内的错位判断处理，在所述错位判断处理中判断为所述偏离量在阈值以内的情况下，执行由所述保持部保持着的所述多张基板的输送。