[发明专利]一种密封装置、容器及工件处理系统

说明书

本发明提供了一种密封装置、容器及工件处理系统，其中密封装置包括至少一个密封机构，密封机构包括第一驱动机构、至少两组第一密封组件和至少一组第二密封组件；任一组第一密封组件包括至少一个第一密封部件；任一组第二密封组件包括至少一个第二密封部件；第一密封组件在滑行通道内与第二密封组件同步滑动，且第一密封部件与第二密封部件一一对应并且相互面对的端面密封抵接；至少一组第一密封部件滑动抵接在第一区域所在密封通道的内壁上。此结构的密封装置，通过第一密封组件与第二密封组件密封抵接及第一密封组件与密封通道内壁密封滑动连接，将密封通道内的溶液大部分阻挡在容器的内腔中，使得容器内的溶液的液面下降幅度进一步缩小。

技术领域

本发明属于电镀技术领域，具体涉及一种密封装置、容器及工件处理系统。

背景技术

目前在清洗、电镀、涂覆等领域中，皆以不同容器盛装不同液体以组成所需工艺流程，来对工件完成清洗、电镀、涂覆等工序处理。例如：要依次对工件进行除油-水洗-酸洗-水洗-电镀-水洗的工序，就需要依次设置六个容器，六个容器分别为第一容器、第二容器、第三容器、第四容器、第五容器及第六容器。

传统工件处理设备中，除了包括上述的多个容器外，还包括设置容器正上方的滑行机构和安装在滑行机构上的升降机构，在对工件处理过程中，工件先安装在升降机构上，升降机构先驱动工件做下降运动，使得工件伸入第一容器内的除油溶液中，待除油工序完成后，升降机构驱动工件做上升运动，从第一容器内取出；之后，滑行机构驱动升降机构和工件同步做移动，使得工件从第一容器的正上方移动到第二容器的正上方，再重复上述升降机构带动工件先做下降运动，工件进入第二容器内的水洗溶液中，水洗工序结束后，升降机构再将工件从第二容器内取出，滑动机构再移动，使得升降机构和工件处于第三容器的正上方，以此类推，逐步完成工件在六个容器内的工序。

若滑行机构只沿水平方向移动工件，则每个容器的壁上需要开设连通孔，工件从后一个容器朝向前一个容器移动过程中穿过连通孔，每个容器的内腔与连通孔始终保持连通状态，则容器内腔的溶液会不断地经过连通孔向外流出，导致容器内的液面的高度下降速度快，影响后续批量工件的处理效果。

发明内容

因此，本发明所要解决的技术问题在于现有的容器内腔与容器壁上的连通孔始终保持连通，容器内的溶液就会不断地经过连通孔流出，引起容器内溶液的液面高度下降速度快，影响后续批量工件的处理效果。

为此，本发明提供一种密封装置，用于对设在容器侧壁上沿第一方向延伸的密封通道密封，所述密封装置包括至少一个密封机构

所述密封机构包括设在所述密封通道内并将其分割为滑行通道和第一区域的第一驱动机构；及均匀间隔设在所述第一驱动机构上且分别分布在所述滑行通道和第一区域内的至少两组第一密封组件；任一组所述第一密封组件包括至少一个第一密封部件；任意相邻两个所述第一密封部件之间的滑动路径小于其所在滑行通道的长度；

若干组第二密封组件，均匀间隔可滑动地穿过所述滑行通道；任一组所述第二密封组件包括至少一个第二密封部件；

所述第一密封组件受所述第一驱动机构的驱动在所述滑行通道和第一区域内做闭合环的循环移动，并在所述滑行通道内与所述第二密封组件同步滑动，且所述第一密封部件与所述第二密封部件一一对应，所述第一密封部件与所述第二密封部件相互面对的端面密封抵接；至少一组所述第一密封组件的第一密封部件滑动抵接在所述第一区域所在密封通道的内壁上。

可选的，所述的密封装置，一一对应的所述第一密封部件和第二密封部件中，至少部分所述第一密封部件较与各自对应的第二密封部件处于所述第二密封组件滑行方向的前方或后方。

可选的，所述的密封装置，所有所述第一密封部件较与各自对应的第二密封部件处于所述滑行方向的后方或前方。

可选的，所述的密封装置，任一组所述第一密封组件内包括至少两个第一密封部件，所有所述第一密封部件均匀分布；