[发明专利]一种折反汇聚光路中平面反射镜面型的测试设备及方法

权利要求书

1.一种折反汇聚光路中平面反射镜面型的测试设备，其特征在于：包括干涉仪[1]、标准汇聚镜头[5]、标准球[7]，所述标准汇聚镜头[5]安装到干涉仪[1]上使平行光束汇聚形成汇聚光束，所述汇聚光束通过汇聚光路支架[6]形成的通道，不受到汇聚光路支架[6]的遮挡，所述汇聚光束通过平面反射镜[8]汇聚在标准球[7]上，所述标准球[7]球心与所述汇聚光束焦点重合。

2.根据权利要求1所述的一种折反汇聚光路中平面反射镜面型的测试设备，其特征在于：还包括万向调节架[9]，标准球[7]固定到所述万向调节架[9]上调节万向调节架[9]使标准球[7]球心与所述汇聚光束焦点重合。

3.根据权利要求2所述的一种折反汇聚光路中平面反射镜面型的测试设备，其特征在于：还包括干涉仪工装支架[2]、五维调节平台[4]；干涉仪[1]安装在干涉仪工装支架[2]上，汇聚光路支架[6]固定到五维调节平台[4]上；汇聚光路支架[6]通过五维调节平台[4]调整使汇聚光束通过汇聚光路支架[6]形成的通道，不受到汇聚光路支架[6]的遮挡。

4.根据权利要求3所述的一种折反汇聚光路中平面反射镜面型的测试设备，其特征在于：所述一种折反汇聚光路中平面反射镜面型的测试设备安装在气浮光学平台[3]上。

5.一种折反汇聚光路中平面反射镜面型的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、干涉仪[1]发出平行光束，通过标准汇聚镜头[5]变为汇聚光束；

步骤2、所述汇聚光束通过汇聚光路支架[6]形成的通道，不受汇聚光路支架[6]的遮挡，所述汇聚光束通过平面反射镜[8]反射，汇聚到标准球[7]的球心；

步骤3、标准球[7]使汇聚光束原路返回干涉仪[1]；

步骤4、干涉仪[1]根据返回的汇聚光束解算分析平面反射镜[8]的面型。

6.根据权利要求5所述的一种折反汇聚光路中平面反射镜面型的测试方法，其特征在于，所述步骤1包括将标准汇聚镜头[5]安装到干涉仪[1]上，调整标准汇聚镜头[5]的位置使其光轴与干涉仪[1]内部基准光束的光轴重合，设置干涉仪[1]的测试参数。

7.根据权利要求5所述的一种折反汇聚光路中平面反射镜面型的测试方法，其特征在于，所述步骤2包括调整万向调节架[9]，使标准球[7]的球心与标准汇聚镜头[5]的焦点重合，微调标准汇聚镜头[5]使干涉图像的光圈最少。