[发明专利]一种干燥装置

权利要求书

1.一种干燥装置，其特征在于，包括容纳腔、以及位于所述容纳腔内的：

底盘，所述底盘用于盛放基板；

冷板，所述冷板设置于所述底盘上方且与所述底盘相对设置，所述冷板的面积大于所述底盘的面积；

抽气阀门，所述抽气阀门设置于所述底盘周围，用于排出所述容纳腔内部的气体；

其中，所述冷板的底面上涂有亲油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料环绕所述亲油性材料，且所述底盘在所述冷板上的投影区域对应所述亲油性材料。

2.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述冷板为弧形，相对于所述底盘，所述弧形中央高、边缘低。

3.如权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述弧形的弧度范围为0.01弧度至0.2弧度。

4.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述亲油性材料为含有酯基、醚、酰胺基团的高分子材料，或者为聚硅氧烷。

5.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述疏油性材料为含有羧基、磺酸基、磷酸基基团的高分子材料。

6.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述底盘上设置有至少三个支撑销，用于支撑所述基板。

7.如权利要求6所述的干燥装置，其特征在于，所述支撑销等间距分布。

8.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述底盘为四边形，所述抽气阀门的数量至少为4个，分别对应所述底盘的四边设置。

9.如权利要求8所述的干燥装置，其特征在于，所述抽气阀门等间距分布。

10.如权利要求8所述的干燥装置，其特征在于，所述抽气阀门的阀门孔直径范围为10毫米至100毫米。