[发明专利]一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构

权利要求书

1.一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构，其特征在于，包括：真空绝热套，芯柱、红外探测器芯片；

其中，所述真空绝热套为双层内真空结构，在其一端设置有光学窗口，在所述光学窗口相对端设置有开口；

所述芯柱为柱状；所述芯柱一端通过所述真空绝热套的开口伸入所述真空绝热套内部空间，另一端与所述真空绝热套外壳密封贴合；

所述红外探测器芯片粘贴于所述芯柱伸入所述绝热套内部空间的一端端部。

2.根据权利要求1所述的一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构，其特征在于，所述真空绝热套为双层内真空结构，在其一端设置有光学窗口，具体为真空绝热套的双内层真空结构的外侧一层设置有光学窗口，内侧一层设置有光学窗口。

3.根据权利要求1或2所述的一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构，其特征在于，所述芯柱伸入所述真空绝热套内部空间的一端端部从上至下依次叠放滤光片，冷屏，所述红外探测器芯片。

4.根据权利要求1所述的一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构，其特征在于，所述真空绝热套为双层内真空结构，在其一端设置有光学窗口，具体为真空绝热套的双内层真空结构的外侧一层设置有光学窗口，内侧一层设置有滤光片。

5.根据权利要求1所述的一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构，其特征在于，所述红外探测器芯片粘贴于所述芯柱伸入所述绝热套内部空间的一端端部具体为，在所述芯柱的另一端设置有引线，所述引线沿所述芯柱的伸入的方向延伸，并与所述芯柱上的所述红外探测器芯片固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构，其特征在于，所述真空绝热套的一侧设置有排气孔，所述排气孔连接专用的排气设备，用于对所述真空绝热套排气。

7.根据权利要求1所述的一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构，其特征在于，所述真空绝热套充有惰性气体，由所述芯柱底部设置的通气孔充入，其中，所述惰性气体包括：氮气，氩气。

8.根据权利要求1所述的一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构，其特征在于，所述真空绝热套充有惰性气体，用于避免红外探测器芯片出现表面结霜。

9.根据权利要求1或7所述的一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构，其特征在于，所述芯柱底部设置通气孔，用于制备所述真空绝热套的双内层真空结构时充入惰性气体。

10.根据权利要求1所述的一种红外探测器的金属微杜瓦真空结构，其特征在于，所述芯柱一端通过所述真空绝热套的开口伸入所述真空绝热套内部空间，另一端与所述真空绝热套外壳密封贴合具体为，所述芯柱的另一端采用胶与所述真空绝热套进行密封贴合。