[发明专利]一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法

权利要求书

1.一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、对纯钛铸坯切片进行打磨和抛光；

步骤二、将得到的纯钛坯件送入二辊轧机同步冷轧进行开坯轧制，所述轧制为多道次可逆轧制；轧制工艺参数为：轧辊表面粗糙度为100~200nm，轧辊辊速为80~100mm/s，轧制道次为10~20道次，道次压下率为5%~20%，总压下率达到80%以上；

步骤三、对得到的轧件进行去污清洗，再进行退火处理；

步骤四、采用牵引带固定的方式将步骤三处理过的纯钛薄板送入可逆四辊异步轧机，调节辊速和力矩电动机的电压，采用异步+大张力组合成型工艺进行冷轧；其中，该冷轧为多道次轧制，轧制工艺参数为：支承辊直径为120~150mm，工作辊直径为30~50mm，工作辊粗糙度为76~100nm，轧辊的辊速为40~105mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.02~1.50，轧制道次为12~16道次，道次压下率为5%~15%，总压下率达到78%以上，力矩电动机的实际电压控制为100~200V；

步骤五、采用牵引带固定的方式将步骤四所得到的纯钛薄带再次送入可逆四辊轧机，调节辊速和力矩电动机的电压，采用负辊缝异步+大张力组合成型工艺进行冷轧，其中，该冷轧为多道次可逆轧制，轧制工艺参数为：支承辊辊径为120~150mm，工作辊辊径为30~50mm，工作辊粗糙度为20~35nm，轧辊的辊速为30~90mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.2~1.8，轧制道次为7~13道次，道次压下率为5%~15%，总压下率达到70%以上，力矩电动机的实际电压为50~150V；

步骤四和步骤五的轧制过程中，均对纯钛轧件喷淋润滑油，每次喷淋3~5s，时间间隔为5~10s；且快速辊和慢速辊的辊速在每进行一个新的道次的轧制时会进行对调。

2.根据权利要求1所述的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于：步骤三中使用高纯酒精去除表面油污，并经超声波清洗，清洗温度为25~40℃，清洗时间为15~30min；退火处理在450~550℃的真空加热炉中进行，真空炉的真空度不大于3.0×10^-3MPa，所用保护气氛的气体为纯度大于99.99%的氩气，纯钛薄板在真空炉中保温1~3h后随炉冷却至室温。