[发明专利]一种晶体生长提拉升降装置及其工作方法在审
申请号: | 201910986714.7 | 申请日: | 2019-10-17 |
公开(公告)号: | CN110528071A | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 孙友轩;黄东阳;岳跃忠;高泽亮;陶绪堂 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 37219 济南金迪知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵龙群<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 250199 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 提拉装置 径向旋转 提拉 晶体生长过程 竖直调节装置 水平调节装置 水平连接板 水平支撑板 籽晶杆 电机 晶体生长设备 高温熔融物 保证装置 调整位置 晶体生长 晶体位置 升降装置 水平滑轴 轴承连接 装置固定 固定板 输出轴 坩埚 升降 体内 生长 灵活 自由 | ||
本发明涉及一种晶体生长提拉升降装置及其工作方法,属于晶体生长设备领域,包括水平调节装置、竖直调节装置、径向旋转装置和微提拉装置;水平调节装置包括固定板和水平滑轴,竖直调节装置包括提拉箱体,提拉箱体固定连接径向旋转装置,径向旋转装置固定连接一水平连接板,水平连接板上设置有微提拉装置,微提拉装置上固定连接有一水平支撑板,水平支撑板上设置有晶转电机,晶转电机的输出轴通过轴承连接有籽晶杆,籽晶杆下入到炉体内坩埚的高温熔融物中。本发明在晶体生长过程中可以根据情况自由灵活调节升降提拉装置的位置,同时又保证装置的稳定性,在晶体生长过程中可以随时调整位置,在生长完成后可以顺利将晶体位置调整和提出。
技术领域
本发明涉及一种晶体生长提拉升降装置及其工作方法,属于晶体生长设备技术领域。
背景技术
助熔剂法生长晶体方法是高温熔液晶体生长法的一种,是目前最成功的晶体生长方法之一。通过助熔剂的引入降低了高温熔液的共熔点,可以生长非一致熔融的化合物晶体。在过去的30年中,通过四元素以上的多元元素组合的新晶体探索,制备出新型的晶体结构成分,利用单晶表征技术揭示化合物内在特性的潜力,可以开创广阔的研究领域。但是新晶体探索的难点在于大尺寸晶体的获得,获得厘米级的单晶非常困难。助熔剂法可以在开放的体系下,在相对较低的温度下得到大尺寸高质量的单晶。所以晶体生长过程中,对于生长设备的调节,能保证晶体的稳定的生长和大尺寸晶体的获得。因此优化晶体生长设备,提高提拉升降装置的自由度,对大尺寸的晶体生长有着重要的意义。
目前市面的提拉升降装置在保证稳定的前提下,不能满足水平方向二维尺度自由的调节,通常只能实现提拉升降装置的左右方向调节,不能前后调节。且目前提拉装置的高度升降为齿轮调整,精度控制难度大,易产生锁死不足时自由下滑,造成正在生长的晶体脱落,使实验前功尽弃,且现有装置的材料多采用铁质板材和螺丝等,使用时间久了造成灵敏度下降和铁锈现象。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提出一种晶体生长提拉升降装置及其工作方法,可以实现左右、前后、上下方向的自由调节,并有效提高了调节精度,在晶体生长过程中可以根据情况自由灵活调节升降提拉装置的位置,同时又保证装置的稳定性,在晶体生长过程中可以随时调整位置,在生长完成后可以顺利将晶体位置调整和提出。
本发明采用以下技术方案:
一方面,本发明提供一种晶体生长提拉升降装置,包括水平调节装置、竖直调节装置、径向旋转装置和微提拉装置;
所述水平调节装置包括一固定板和能够相对于固定板左右移动的水平滑轴,所述竖直调节装置的底部固定于水平滑轴上,所述竖直调节装置包括一提拉箱体,能够沿竖直方向的支撑杆上下移动,所述提拉箱体固定连接径向旋转装置,所述径向旋转装置固定连接一水平连接板,水平连接板上设置有微提拉装置,微提拉装置上固定连接有一水平支撑板,水平支撑杆能够跟随微提拉装置上下微移动,水平支撑板上设置有晶转电机,所述晶转电机的输出轴通过轴承连接有籽晶杆,籽晶杆下入到炉体内坩埚的高温熔融物中,晶转电机即为一个旋转电机,其输出轴带动籽晶杆旋转。
水平调节装置用于调节整个装置的左右移动,竖直调节装置及微提拉装置用于调节籽晶杆的上下移动,径向旋转装置用于调节籽晶杆的前后移动。
优选的,所述固定板上固定有一固定轴,固定轴为左右方向设置,其两端固定于固定板上,所述固定板一端(优选为左端)竖直固定有螺杆支架,所述水平滑轴下方固定设置有与固定轴相配合的滑块,滑块套设在固定轴上并能够在固定轴上左右滑动,固定轴在相当于一个导向杆,滑块以及水平滑轴能够沿固定轴左右移动,所述水平调节装置还包括第一螺杆和螺母,所述第一螺杆固定于螺杆支架上,所述螺母固定于水平滑轴上,通过第一螺杆的旋进旋出调节整个装置的左右位置。
优选的,所述螺杆支架上还设置有手轮,手轮与第一螺杆连接,用于调节第一螺杆与螺母之间的距离。
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