[发明专利]一种蓝宝石晶片研磨液的制备方法在审
申请号: | 201910986748.6 | 申请日: | 2019-10-17 |
公开(公告)号: | CN110643327A | 公开(公告)日: | 2020-01-03 |
发明(设计)人: | 杨华;秦光临;陆昌程 | 申请(专利权)人: | 江苏吉星新材料有限公司 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 32200 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人: | 唐循文 |
地址: | 212200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨 研磨液 金刚石微粉 蓝宝石晶片 退火处理 混合物 混合液 碳化硼 放入 微粉 制备 球磨机 放电等离子烧结炉 材料表面粗糙度 微米级氧化铝 协同增效作用 氧化铝空心球 材料去除率 蓝宝石表面 程序升温 去离子水 温度保持 制备过程 空心球 恒压 混匀 冷却 配置 | ||
1.一种蓝宝石晶片研磨液的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:
步骤一.取5-10质量份碳化硼微粉、2-4质量份金刚石微粉和1-2质量份氧化铝空心球混匀后放入放电等离子烧结炉中退火处理,保持真空恒压的条件下程序升温至1350-1450℃温度保持10-15 min后自然冷却至100℃以下,恒压范围为15-20 MPa;
步骤二.将步骤一冷却后混合物放入球磨机中研磨至粒径为40-60 μm;
步骤三.向步骤二研磨后混合物中加入去离子水配置成混合液,研磨后混合物和去离子水的质量比为(10-20):100;
步骤四.将步骤三中混合液在室温下搅拌20-30 min后得到蓝宝石晶片研磨液。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片研磨液的制备方法,其特征在于,所述步骤一中碳化硼微粉的粒径为23-61 μm,金刚石微粉的粒径为15-20 μm,氧化铝空心球的粒径为250-300 μm。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片研磨液的制备方法,其特征在于,所述步骤一中取8质量份碳化硼微粉、3质量份金刚石微粉和2质量份氧化铝空心球混匀后放入放电等离子烧结炉中退火处理,保持真空恒压的条件下程序升温至1400℃温度保持10 min后自然冷却至100℃以下,恒压范围为20 MPa。
4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片研磨液的制备方法,其特征在于,所述步骤二中将步骤一冷却后混合物放入球磨机中研磨至粒径为40 μm。
5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片研磨液的制备方法,其特征在于,所述步骤三中向步骤二研磨后混合物中加入去离子水配置成混合液,研磨后混合物和去离子水的质量比为15:100。
6.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片研磨液的制备方法,其特征在于,所述步骤四中将步骤三中混合液在室温下搅拌25 min后得到蓝宝石晶片研磨液。
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