[发明专利]一种用于提高三次谐波产生效率的激光设备

权利要求书

1.一种用于提高三次谐波产生效率的激光设备，其特征在于：包括光学腔、基波束产生一级加强装置、可调节反射镜、多重波反射加强输出装置和三次谐波加强反射装置，所述基波束产生一级加强装置、可调节反射镜、多重波反射加强输出装置和三次谐波加强反射装置设于光学腔内，所述基波束产生一级加强装置和可调节反射镜沿水平方向依次排列，所述基波束产生一级加强装置和可调节反射镜水平中轴线设于同一水平公共轴一上，所述可调节反射镜可调节自身角度，所述多重波反射加强输出装置设于可调节反射镜正下方，所述三次谐波加强反射装置和多重波反射加强输出装置水平方向依次排列，所述三次谐波加强反射装置和多重波反射加强输出装置水平中轴线设于同一水平公共轴二上；所述基波束产生一级加强装置包括激光介质、激光泵、基频高反射镜一、Q开关、球面透镜和柱面透镜，所述激光介质、激光泵、基频高反射镜一、Q开关、球面透镜、柱面透镜和可调节反射镜沿水平方向依次排列，所述激光介质、激光泵、基频高反射镜一、Q开关、球面透镜、柱面透镜和可调节反射镜水平中轴线设于同一水平公共轴一上，所述多重波反射加强输出装置为多重波高反射镜片，所述多重波高反射镜片设于可调节反射镜整下方；所述三次谐波加强反射装置包括光束高反射镜片、I型非线性二次谐波晶体和II型非线性三次谐波晶体，所述多重波高反射镜片、光束高反射镜片、I型非线性二次谐波晶体和II型非线性三次谐波晶体沿水平方向依次排列，所述光束高反射镜片、I型非线性二次谐波晶体、II型非线性三次谐波晶体和多重波高反射镜片水平中轴线设于同一水平公共轴二上，所述I型非线性二次谐波晶体用于二次谐波的产生，所述II型非线性三次谐波晶体用于三次谐波的产生，所述光束高反射镜片为基频和二次谐波频谱的高反射镜片。

2.根据权利要求1所述的一种用于提高三次谐波产生效率的激光设备，其特征在于：所述多重波反射加强输出装置包括棱镜一、棱镜二、导向镜片和二次谐波发射器，所述棱镜一和棱镜二顶角相接倾斜设于可调节反射镜靠近激光泵的一侧，所述棱镜一设于棱镜二的斜上方，所述导向镜片设于棱镜一正上方，所述二次谐波发生器设于可调节反射器原理激光泵的一侧，所述二次谐波发射器设于可调节反射镜和导向镜片之间，所述棱镜二与II型非线性三次谐波晶体设于同一水平线上。

3.根据权利要求1所述的一种用于提高三次谐波产生效率的激光设备，其特征在于：所述三次谐波加强反射装置包括光束高反射镜片、I型非线性二次谐波晶体、II型非线性三次谐波晶体和波片，所述光束高反射镜片、I型非线性二次谐波晶体、II型非线性三次谐波晶体和波片沿水平方向依次排列，所述光束高反射镜片、I型非线性二次谐波晶体、II型非线性三次谐波晶体和波片水平中轴线设于同一水平公共轴二上，所述波片设于II型非线性三次谐波晶体和多重波高反射镜片之间。

4.根据权利要求1所述的一种用于提高三次谐波产生效率的激光设备，其特征在于：所述三次谐波加强反射装置包括光束高反射镜片、I型倍增晶体、、I型三倍频晶体和波片，所述光束高反射镜片、I型倍增晶体、波片和I型三倍频晶体沿水平方向依次排列，所述光束高反射镜片、I型倍增晶体、波片和I型三倍频晶体水平中轴线设于同一水平公共轴二上，所述波片设于I型三倍频晶体和I型倍增晶体之间。

5.根据权利要求1所述的一种用于提高三次谐波产生效率的激光设备，其特征在于：所述柱面透镜具有补偿晶体的热透镜特性，所述球面透镜用于调整光束的光斑尺寸，所述基频高反射镜一为激光介质基频的高反射镜。

6.根据权利要求2所述的一种用于提高三次谐波产生效率的激光设备，其特征在于：所述棱镜一和棱镜二为UV渐变的熔融硅化棱镜一和棱镜二。

7.根据权利要求1所述的一种用于提高三次谐波产生效率的激光设备，其特征在于：所述可调节反射镜为折叠镜片。

8.根据权利要求1所述的一种用于提高三次谐波产生效率的激光设备，其特征在于：所述多重波高反射镜片为二向色镜。