[发明专利]基板处理装置和基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，对基板进行处理，所述基板处理装置具有：

保管部，其设置于所述基板处理装置的最上部，载置用于收纳基板的基板收纳容器；

搬入搬出部，其在所述基板处理装置中载置所述基板收纳容器，并且与基板处理装置的处理部侧之间进行基板的搬入和搬出；以及

移载装置，其与所述保管部之间直接或间接地进行所述基板收纳容器的交接，

其中，所述移载装置能够与在所述基板处理装置的上方移动的顶面行驶车之间进行所述基板收纳容器的交接。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

还具有控制装置，所述控制装置控制所述移载装置的动作，

在所述顶面行驶车能够直接向所述搬入搬出部交接所述基板收纳容器的情况下，为了不妨碍该交接，所述控制装置控制所述移载装置的动作使得所述移载装置从交接路径退避。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述搬入搬出部具有搬入专用部和搬出专用部，

所述移载装置以与所述搬入专用部及搬出专用部对应的方式设置有多个。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，

还具有控制装置，所述控制装置控制所述移载装置的动作，

所述控制装置构成为对与所述搬入专用部及搬出专用部对应地设置的各移载装置的动作独立地进行控制。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

还具有其它移载装置，所述其它移载装置能够在所述保管部与所述移载装置之间进行所述基板收纳容器的交接。

6.根据引用权利要求3或4的权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，

还具有其它控制装置，所述其它控制装置控制所述其它移载装置的动作，

所述其它控制装置控制所述其它移载装置的动作，以将未收容基板的空的基板收纳容器移载至所述保管部中的、能够与所述搬入专用部及搬出专用部对应地设置的移载装置中的任意的移载装置经由所述其它移载装置交接基板收纳容器的区域。

7.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

所述移载装置在水平方向上移动自如。

8.根据权利请求1至4中的任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

所述保管部设置为：在俯视观察时，能够在从所述搬入搬出部朝向所述处理部侧的方向上并排载置多个所述基板收纳容器。

9.一种基板处理方法，是利用对基板进行处理的基板处理装置的基板处理方法，

所述基板处理装置具有：

保管部，其设置于所述基板处理装置的最上部，载置用于收纳基板的基板收纳容器；

搬入搬出部，其在所述基板处理装置中载置所述基板收纳容器，并且与基板处理装置的处理部侧之间进行基板的搬入和搬出；

移载装置，其与所述保管部之间进行所述基板收纳容器的交接；以及

其它移载装置，其能够在所述保管部与所述移载装置之间进行所述基板收纳容器的交接，

其中，所述移载装置构成为能够与在所述基板处理装置的上方移动的顶面行驶车之间进行所述基板收纳容器的交接，

在所述顶面行驶车能够直接向所述搬入搬出部交接所述基板收纳容器的情况下，为了不妨碍该交接，所述移载装置从该交接的路径退避。

10.根据权利要求9所述的基板处理方法，其特征在于，

在所述基板处理装置中，具备多个所述移载装置和多个其它移载装置，特定的其它移载装置向特定的移载装置交接基板收纳容器。