[发明专利]喷墨头、喷墨涂敷装置以及喷墨涂敷方法

权利要求书

1.一种喷墨头，具备：

喷嘴孔，喷出液体材料；

压力室，与所述喷嘴孔连通；

供给流路，与所述压力室连通，向该压力室供给所述液体材料；

回收流路，与所述压力室连通，从该压力室回收所述液体材料；

隔膜，相对于供给到所述压力室内的所述液体材料进行往复振动；

致动器，赋予用于使所述隔膜振动的位移；以及

节流孔构造，分别配置在所述供给流路与所述压力室之间、以及所述回收流路与所述压力室之间，在从所述液体材料的喷出方向观察的俯视观察下比所述压力室窄。

2.根据权利要求1所述的喷墨头，其中，

还具备：压力波反射壁，与所述隔膜抵接，并且设置于所述压力室的外缘部。

3.根据权利要求2所述的喷墨头，其中，

在所述俯视观察下，所述节流孔构造配置在与所述压力波反射壁相比更远离喷嘴孔的位置。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的喷墨头，其中，

所述喷嘴孔配置在与所述供给流路相比更靠近所述回收流路侧的位置。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的喷墨头，其中，

所述节流孔构造在从所述供给流路到所述回收流路的方向上具有向所述节流孔构造的开口引导所述液体材料的第1导流部。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的喷墨头，其中，

还具备：第2导流部，在所述俯视观察下的与从所述供给流路到所述回收流路的方向正交的方向上，配置在夹着所述喷嘴孔的两侧，朝向所述喷嘴孔引导所述液体材料。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的喷墨头，其中，

所述致动器使用压电元件构成。

8.一种喷墨涂敷装置，具备：

权利要求1～7中的任一项所述的喷墨头；

液体材料供给单元，向所述喷墨头供给所述液体材料；

控制单元，生成驱动所述致动器的电信号，控制基于所述喷墨头的所述液体材料的喷出动作；以及

输送单元，使所述喷墨头和涂敷对象物相对移动。

9.一种喷墨涂敷方法，包括：

产生步骤，使收纳从供给流路供给的液体材料的压力室的体积缩小来产生压力波；以及

喷出步骤，通过设置在所述压力室的压力波反射壁、和分别配置在供给流路与所述压力室之间以及回收流路与所述压力室之间的节流孔构造，使所产生的所述压力波向喷嘴孔的方向反射，从而使所述液体材料从所述喷嘴孔喷出。