[发明专利]一种回收分子筛吸附的特种气体的方法和装置

权利要求书

1.一种回收分子筛吸附的特种气体的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)向吸附有特种气体的分子筛吹送非杂质气体，使分子筛上的特种气体解吸出来，得到含非杂质气体和特种气体的混合气体；

(2)冷凝所述混合气体中的特种气体，使特种气体与非杂质气体分离；

(3)回收步骤(2)冷凝的特种气体；

所述非杂质气体包括氢气和氦气中的至少一种；

所述特种气体包括砷烷、磷烷和锗烷中的至少一种。

2.如权利要求1所述的回收分子筛吸附的特种气体的方法，其特征在于，所述非杂质气体的吹送方式为连续吹送，吹送方向为从下往上吹送。

3.如权利要求1所述的回收分子筛吸附的特种气体的方法，其特征在于，所述非杂质气体的流速为60～100L/min，吹送时间为8～12h；优选地，所述非杂质气体为氢气。

4.如权利要求1所述的回收分子筛吸附的特种气体的方法，其特征在于，所述步骤(2)冷凝回收所述特种气体的温度为-170℃以下，采用的冷凝介质为液氮、液氩或液氦；优选地，所述步骤(2)在液氮温度下对特种气体进行冷凝。

5.如权利要求1所述的回收分子筛吸附的特种气体的方法，其特征在于，所述步骤(3)在对冷凝的特种气体进行回收时，先将特种气体转化为气态，再回收到气瓶中。

6.一种回收分子筛吸附的特种气体的装置，其特征在于，包括第一气体输送管路、第二气体输送管路和冷凝器；所述第一气体输送管路用于向吸附有特种气体的分子筛吸附柱内吹送非杂质气体，以使所述分子筛吸附柱内的特种气体解吸出来；所述第二气体输送管路用于将所述分子筛吸附柱解吸出来的混合气体输送至所述冷凝器中；所述冷凝器用于对所述混合气体中的特种气体进行冷凝，使特种气体与非杂质气体分离；所述非杂质气体包括氢气和氦气中的至少一种；所述特种气体包括砷烷、磷烷和锗烷中的至少一种。

7.如权利要求6所述的回收分子筛吸附的特种气体的装置，其特征在于，所述第一气体输送管路与分子筛吸附柱底部的接口连接，所述第二气体输送管路的一端与分子筛吸附柱顶部的接口连接，所述第二气体输送管路的另一端与所述冷凝器连接。

8.如权利要求6所述的回收分子筛吸附的特种气体的装置，其特征在于，所述冷凝器为列管冷凝器，混合气体走管外壳程，管内填充冷凝介质，所述第二气体输送管路与所述冷凝器的壳程进气口连接。

9.如权利要求8所述的回收分子筛吸附的特种气体的装置，其特征在于，所述装置还包括冷凝介质输送管路、第三气体输送管路、气体循环机和气瓶；所述冷凝介质输送管路用于向所述冷凝器的列管内输送冷凝介质；所述第三气体输送管路和所述气瓶分别与所述冷凝器的壳程出气口连接，所述气瓶用于回收所述冷凝器冷凝的特种气体，所述第三气体输送管路用于排出所述冷凝器分离的非杂质气体，所述第三气体输送管路还与所述气体循环机连接，所述气体循环机还与所述第一气体输送管路连接。

10.如权利要求6～9任一项所述的回收分子筛吸附的特种气体的装置，其特征在于，所述装置的所有管路上均设有调节流量的调节阀。