[发明专利]有机废气浓缩蓄热燃烧回流冷却系统及其方法

说明书

一种有机废气浓缩蓄热燃烧回流冷却系统及其方法，主要将蓄热气通过不同路径来进行回收或排放，该蓄热燃烧炉的排气通过该冷却器来进行热交换，并于进行冷却后再输送到该废气进气管路，使燃烧后的气体进入该吸附转轮的吸附区，而不经过该烟囱来进行排放，让该烟囱的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升，同时，蓄热燃烧炉的加热室的蓄热气提供给该加热器来使用。

技术领域

本发明涉及一种有机废气浓缩蓄热燃烧回流冷却系统及其方法，尤其涉及一种用来将蓄热气通过不同路径来进行回收或排放，使有机废气的处理效率提升，同时，蓄热燃烧炉的加热室的蓄热气提供给该加热器来使用，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。

背景技术

目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。而目前通过该处理设备所脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉来进行燃烧，再将燃烧后的气体来输送到烟囱来进行排放。

因此，本发明人有鉴于上述缺陷，期望能提出一种具有提升有机废气处理效率的有机废气浓缩蓄热燃烧回流冷却系统及其方法，令使用者可轻易操作组装，是潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本发明人所欲研发的发明动机。

发明内容

本发明的主要目的，在于提供一种有机废气浓缩蓄热燃烧回流冷却系统及其方法，主要将蓄热气通过不同路径来进行回收或排放，该蓄热燃烧炉的排气通过该冷却器来进行热交换，并于进行冷却后再输送到该废气进气管路，使燃烧后的气体进入该吸附转轮的吸附区，而不经过该烟囱来进行排放，让该烟囱的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升，同时，蓄热燃烧炉的加热室的蓄热气提供给该加热器来使用，进而增加整体的实用性。

本发明的另一目的，在于提供一种有机废气浓缩蓄热燃烧回流冷却系统及其方法，通过该加热器可以连接一热气输出管路，且该热气输出管路的另一端与该冷却回流热气回收管路连接，让通过该热气输出管路所输送的热气传输到该冷却回流热气回收管路内，再输送到冷却器内，另外，该加热器也可以连接一热气排放管路，且该热气排放管路的另一端连接至一烟囱，使通过该热气排放管路所输送的热气传输到该烟囱来进行排放，进而增加整体的利用性。

本发明的再一目的，在于提供一种有机废气浓缩蓄热燃烧回流冷却系统及其方法，其中当该蓄热燃烧炉设为三塔式蓄热燃烧炉或是旋转式蓄热燃烧炉时，设有至少一扫气(purge)管路，该扫气(purge)管路的另一端供新鲜空气进入，或是与该加热器所连接的热气回收管路的另一端连接，使通过该热气回收管路所输送的热气传输到该扫气(purge)管路内，再通过该扫气(purge)管路来回到该三塔式蓄热燃烧炉或是旋转式蓄热燃烧炉内进行吹扫，进而增加整体的操作性。

为了能够更进一步了解本发明的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本发明。

附图说明

图1为本发明的主要实施方式的主要步骤流程图；

图2为本发明的双塔式蓄热燃烧炉的加热器的该热气输出管路连接结构示意图；

图3为本发明的双塔式蓄热燃烧炉的加热器的该热气排放管路连接结构示意图；

图4为本发明的双塔式蓄热燃烧炉的另一实施方式的结构示意图；

图5为本发明的三塔式蓄热燃烧炉的加热器的该热气输出管路连接结构示意图；

图6为本发明的三塔式蓄热燃烧炉的加热器的该热气排放管路连接结构示意图；

图7为本发明的三塔式蓄热燃烧炉的加热器的该热气回收管路连接结构示意图；