[发明专利]一种用于等离子体装置的样品台有效
| 申请号： | 201910992808.5 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN110752134B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 陈晓莉;李波;吴杰峰;韦俊 | 申请（专利权）人： | 合肥聚能电物理高技术开发有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/18 |
| 代理公司： | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人： | 李慧 |
| 地址： | 230031 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 等离子体 装置 样品 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于等离子体装置的样品台，包括样品座，所述样品座上开设有多个样品材料放置腔，样品座一侧开设有用于将其推入真空室的样品座推送装置，所述样品座包括基板，基板顶面中心嵌设有下绝缘件，两端对称设有互为间隔的上绝缘件，样品材料放置腔由下绝缘件与两个上绝缘件之间所形成的空间而构成，其特征在于：所述下绝缘件顶面呈外圆弧状，上绝缘件朝向样品材料放置腔的端面呈内圆弧状，上绝缘件的另一面设有防辐射板，防辐射板上开设有用于露出样品材料放置腔的缺口，防辐射板外设有用于调整上绝缘件对样品材料放置腔中样品材料压紧力度的压紧装置，基板的底面设有冷却装置。
2.根据权利要求1所述的一种用于等离子体装置的样品台，其特征在于：所述样品座推送装置包括波纹管，波纹管与样品座相连接，并设置在推动其运动的滑动平台中。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于等离子体装置的样品台，其特征在于：所述防辐射板为钼板，压紧装置包括穿透于钼板及上绝缘件，连接在基板上的圆头钼螺栓。
4.根据权利要求1或2所述的一种用于等离子体装置的样品台，其特征在于：所述冷却装置为设置在基板底面的冷水槽。
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