[发明专利]一种表面钝化制备硫化锑基薄膜太阳能电池的方法有效
申请号: | 201910993548.3 | 申请日: | 2019-10-18 |
公开(公告)号: | CN110854277B | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 李炫华;韩剑;曹琦 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;H01L51/46;H01L51/42 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 慕安荣 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面 钝化 制备 硫化锑 薄膜 太阳能电池 方法 | ||
1.一种表面钝化制备硫化锑基薄膜太阳能电池的方法,其特征在于,具体过程是:
步骤1,制备各步骤中所需的溶液:
所述的溶液包括用于制备电子传输层的二氧化钛溶液、用于制备硫化锑吸光层的锑前驱体溶液、用于钝化处理硫化锑薄膜吸光层的三氯化锑溶液、双三氟甲烷磺酰亚胺锂溶液和用于制备空穴传输层的Spiro-OMeTAD溶液;
步骤2,FTO导电玻璃基底的表面处理;
步骤3,电子传输层的制备:
所述电子传输层为二氧化钛;
将经过处理的FTO导电玻璃放置于匀胶机的吸盘上;用移液枪量取20~70μL所述的二氧化钛溶液,滴加在该FTO导电玻璃的上表面,并使该二氧化钛溶液铺满表面;以1000~5000r/min的转速旋涂20~50s;旋涂完毕后,将涂有二氧化钛的FTO导电玻璃放在加热台上,在空气中300~550℃下退火处理10~70min;自然冷却至室温,即得到厚度为30~40nm的电子传输层;
步骤4,吸光层的制备:
所述吸光层为硫化锑
将所述匀胶机和加热台均置于有氮气保护的手套箱内;
将制备有电子传输层的FTO导电玻璃置于匀胶机的吸盘上;
用移液枪量取40~80μL所述锑前驱体溶液,滴加在该电子传输层上表面,并使该锑前驱体溶液铺满表面;以4000~9000r/min的转速旋涂20~50s;旋涂完毕后,将涂覆有锑前驱体溶液的FTO导电玻璃放在加热台上,100~400℃下退火处理1~10min;自然冷却至室温,即得到厚度为150~160nm的硫化锑吸光层;
步骤5,钝化层的制备:
所述钝化层为三氯化锑;
将制备有吸光层的FTO导电玻璃放置于所述匀胶机的吸盘上;用移液枪量取40~80μL所述三氯化锑溶液,滴于硫化锑薄膜表面,并铺满表面;以2000~5000r/min的转速旋涂20~50s;旋涂完毕后,将该玻璃基底放在所述加热台上,50~200℃下退火处理10~60s;自然冷却至室温,得到厚度为1~2nm的三氯化锑的钝化层;
步骤6,空穴传输层的制备:
所述空穴传输层为Spiro-OMeTAD;
将制备有钝化层的FTO导电玻璃置于匀胶机的吸盘上;用移液枪取20~50μL所述Spiro-OMeTAD溶液,滴于三氯化锑钝化层表面,并铺满表面;以3000~6000r/min的转速旋涂20~50s;
旋涂完毕后,将该玻璃基底从有氮气保护的手套箱内取出,放到空气环境中的加热台上,50~150℃下退火处理10~30min;自然冷却至室温,得到厚度为110~130nm的空穴传输层;
步骤7,电极蒸镀:
将制备有空穴传输层的FTO导电玻璃置于蒸镀仪中;将纯度为99.99%、重量为0.2~0.4mg金颗粒放到蒸镀仪中的舟上;对该蒸镀仪抽真空至真空度为3.0×10-4Pa,通过所述蒸镀仪控制面板,以的速度蒸镀30~40min,得到厚度为90~120nm金电极;
至此,完成了所述硫化锑基薄膜太阳能电池的制备。
2.如权利要求1所述表面钝化制备硫化锑基薄膜太阳能电池的方法,其特征在于,所述硫化锑基薄膜太阳能电池以透明FTO导电玻璃为基底,在该玻璃基底的表面自下向上依次为电子传输层、吸光层、钝化层、空穴传输层和金电极。
3.如权利要求2所述表面钝化制备硫化锑基薄膜太阳能电池的方法,其特征在于,所述的FTO导电玻璃的阻抗为10~15Ω/m2;所述电子传输层为二氧化钛,其厚度为30~40nm;所述吸光层为硫化锑,其厚度为150~160nm;所述钝化层为三氯化锑,其厚度为1~2nm;所述空穴传输层为Spiro-OMeTAD,其厚度为110~130nm;所述金电极的厚度为90~120nm。
4.如权利要求1所述表面钝化制备硫化锑基薄膜太阳能电池的方法,其特征在于:所述二氧化钛溶液由1.0~2.0mL分析纯的钛酸正丁酯、5.0~9.0mL分析纯的乙醇和0.2~1.5mL分析纯的乙二胺混合搅拌而成;
所述锑前驱体溶液是在291.5~874.6mg分析纯的三氧化二锑粉末中加入1.0~4.0mL分析纯的乙醇、1.0~3.5mL分析纯的二硫化碳和1.0~5.0mL分析纯的正丁胺混合搅拌而成;
所述三氯化锑溶液的浓度为5~60mg/mL,是在5~60mg分析纯的三氯化锑中加入1mL分析纯的乙醇混合搅拌而成;
所述双三氟甲烷磺酰亚胺锂溶液是在520mg纯度为99.95%的双三氟甲烷磺酰亚胺锂中加入1mL优级纯的乙腈混合搅拌而成;
所述Spiro-OMeTAD溶液是在70~90mg纯度为99.95%的2,2',7,7'-四[N,N-二(4-甲氧基苯基)氨基]-9,9'-螺二芴中加入28μL优级纯的4-叔丁基吡啶和17μL浓度为520mg/mL的双三氟甲烷磺酰亚胺锂溶液搅拌而成。
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