[发明专利]一种钛合金表面医用涂层的制备方法

权利要求书

1.一种钛合金表面医用涂层的制备方法，其特征在于，所述涂层为Cu-Ta₂O₅/Ta₂O₅/Ta₂O₅-TiO₂/TiO₂/Ti多层涂层，所述涂层的制备方法包括以下步骤：

S1.对钛合金、Ta₂O₅靶材、Ti靶材和Cu靶材分别进行预处理；

S2.以钛合金为基底，Ti靶材作为溅射原材料，氩气作为溅射气体，采用直流溅射、射频溅射或中频溅射制备Ti涂层；

S3.以Ti靶材作为溅射原材料，分别通入溅射气体氩气和反应气体氧气，采用直流反应溅射、射频反应溅射或中频反应溅射在Ti涂层上制备TiO₂涂层；

S4.以Ti靶材和Ta₂O₅靶材作为溅射原材料，氩气作为溅射气体，氧气作为反应气体，采用直流反应溅射、射频反应溅射或中频反应溅射得到TiO₂，采用射频溅射得到Ta₂O₅，在TiO₂涂层上制备Ta₂O₅-TiO₂复合涂层，所述Ti靶材的溅射功率为100～300W，所述Ta₂O₅靶材的溅射功率为50～350W，所述Ti靶材和Ta₂O₅靶材的溅射时间为4～30min，所述Ti靶材和Ta₂O₅靶材的溅射时间相同；

S5.以Ta₂O₅靶材作为溅射原材料，氩气作为溅射气体，采用射频溅射在Ta₂O₅-TiO₂涂层上制备Ta₂O₅涂层；

S6.以Cu靶材和Ta₂O₅靶材作为溅射原材料，氩气作为溅射气体，采用直流溅射、射频溅射或中频溅射Cu靶材，采用射频溅射Ta₂O₅靶材，在Ta₂O₅涂层上制备Cu-Ta₂O₅复合涂层，得钛合金表面Cu-Ta₂O₅/Ta₂O₅/Ta₂O₅-TiO₂/TiO₂/Ti多层涂层，所述Cu靶材的溅射功率为20～150W，所述Ta₂O₅靶材的溅射功率为50～350W，所述Cu靶材和Ta₂O₅靶材的溅射时间为4～60min，所述Cu靶材和Ta₂O₅靶材的溅射时间相同；

其中，步骤S1中所述预处理过程为：对钛合金进行打磨、精抛、超声清洗、烘干，然后将钛合金和靶材装入磁控溅射镀膜机，采用等离子体清洗钛合金和靶材。

2.根据权利要求1所述的钛合金表面医用涂层的制备方法，其特征在于，步骤S2中所述Ti靶材的溅射时间为2～20min，溅射功率为100～300W。

3.根据权利要求1所述的钛合金表面医用涂层的制备方法，其特征在于，步骤S3中所述溅射气体氩气的流量为12～32sccm，反应气体氧气的流量为2～4sccm，氩气与氧气的流量比为3:1～8:1。

4.根据权利要求3所述的钛合金表面医用涂层的制备方法，其特征在于，步骤S3中所述Ti靶材的溅射时间为2～20min，溅射功率为100～300W。

5.根据权利要求1所述的钛合金表面医用涂层的制备方法，其特征在于，步骤S4中所述溅射气体氩气的流量为10～35sccm，反应气体氧气的流量为5～7sccm，氩气与氧气的流量比为2:1～7:1。