[发明专利]一种生物传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种生物传感器制作方法，其特征在于，所述方法包括：

基于一衬底制作生物传感器的本体结构，其中，所述本体结构包括栅电极层；

沿所述栅电极层外延生长过渡层；其中，所述过渡层用于承载生物活性分子；

对所述过渡层进行刻蚀，以在所述过渡层的表面形成多个凸起；

沿所述过渡层的表面偶联生物活性分子，以形成所述生物传感器，其中，所述生物活性分子分布于每个凸起的表面和每两个凸起之间。

2.如权利要求1所述的生物传感器制作方法，其特征在于，所述凸起的形状包括柱形、圆台形、圆锥形以及T型中的一种或多种。

3.如权利要求1所述的生物传感器制作方法，其特征在于，在所述沿所述过渡层的表面偶联生物活性分子，以形成所述生物传感器的步骤之前，所述方法还包括：

对所述过渡层的表面进行活化处理。

4.如权利要求3所述的生物传感器制作方法，其特征在于，所述对所述过渡层的表面进行活化处理的步骤包括：

利用等离子体对所述过渡层的表面进行第一活化处理；

利用化学偶联剂或生物偶联剂对所述过渡层的表面进行第二活化处理。

5.如权利要求4所述的生物传感器制作方法，其特征在于，所述化学偶联剂包括氨基硅烷偶联剂、氨基钛酸酯偶联剂以及聚多巴胺中的任意一种或多种。

6.如权利要求1所述的生物传感器制作方法，其特征在于，在所述沿所述过渡层的表面偶联生物活性分子，以形成所述生物传感器的步骤之前，所述方法还包括：

沿所述过渡层的四周制作保护层。

7.如权利要求1所述的生物传感器制作方法，其特征在于，所述生物活性分子包括抗体、DNA、RNA、细菌以及病毒微生物裂解物中任意一种。

8.如权利要求1所述的生物传感器制作方法，其特征在于，所述基于一衬底制作生物传感器的本体结构的步骤包括：

基于所述衬底的一侧生长栅介质层；

对所述栅介质层进行刻蚀，以形成栅极结构，

对所述衬底与所述栅极结构进行光刻，以在所述衬底上露出源区与漏区，及在所述栅极结构上形成窗口；

向所述源区、漏区以及所述窗口进行n+型离子注入掺杂，以形成源区、漏区以及栅极区；

在所述衬底上沉积钝化层；

对所述钝化层进行刻蚀，以形成源电极孔与漏电极孔，并沿所述源电极孔与漏电极孔沉积金属电极，以形成源电极与漏电极；

沿所述栅极区沉积栅电极层。

9.如权利要求1所述的生物传感器制作方法，其特征在于，所述基于一衬底制作生物传感器的本体结构的步骤包括：

基于所述衬底的一侧生长缓冲层；

沿所述缓冲层远离所述衬底的一侧制作高纯层；

沿所述高纯层远离所述衬底的一侧制作异质结层；其中，所述异质结层与所述高纯层之间形成异质结；

沿所述异质结层远离所述衬底的一侧制作连接层；

对所述异质结层与所述连接层的两侧进行刻蚀，并制作源、漏欧姆电极；

在所述源、漏欧姆电极之间制作栅电极。

10.一种生物传感器，其特征在于，所述生物传感器包括：

本体结构，其中，所述本体结构包括栅电极层；与

覆盖于所述栅电极层上的过渡层，其中，所述过渡层用于承载生物活性分子，所述过渡层的表面包括多个凸起；及

覆盖于所述过渡层表面的生物活性分子层，其中，所述生物活性分子层中的生物活性分子分布于每个凸起的表面及每两个凸起之间。