[发明专利]一种内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器

权利要求书

1.一种内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器，其特征在于，从外到内包含PBN基体、PG涂层电路以及PBN涂层保护层；

PBN基体内部中空，PBN基体内壁上设有PG涂层电路，PBN涂层保护层附于PG涂层电路上；

PG涂层电路图案包含往复折回的条形电路，条形电路折回处为折回部，PG涂层电路包括至少两个折回部，两个相邻的折回部之间不连通、留有缝隙，条形电路两个端点设有电极；

PG涂层电路图案的条形电路宽度均为12mm，相邻两条条形电路的缝隙均为2mm，共有6个折回部，相邻两个折回部之间的缝隙均为3mm；电路的两个端点处各有一个圆形通孔电极，外径为20mm，通孔直径为8mm。

2.根据权利要求1所述的内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器，其特征在于，PBN基体为圆筒状或中空圆台状或直径不规则变化的圆筒状。

3.根据权利要求1所述的内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器，其特征在于，PBN基体直径为30mm-300mm，高度为50mm-500mm，厚度为0.1mm-5mm，内径偏差控制在0.05mm以内。

4.根据权利要求1所述的内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器，其特征在于，PBN涂层保护层的厚度为50微米-500微米。

5.根据权利要求1所述的内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器，其特征在于，PG涂层电路的厚度为100微米。