[发明专利]一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法在审
| 申请号： | 201910998916.3 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110640613A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 张振宇;张群;廖龙兴;史全 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B31/00 | 分类号： | B24B31/00;B24B31/10;B24B31/12;B24B47/12;C09G1/02 |
| 代理公司： | 21200 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 温福雪;梅洪玉 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 样品池 抛光 抛光液 薄壁 磨粒 转轴 光洁度 双氧水 化学机械抛光 螺母 苯骈三氮唑 抛光效率 圆柱表面 长条形 壳寡糖 碳化硅 同轴度 磷酸 螺纹 纯铜 垫片 减小 锁紧 填满 种筒 变形 电机 驱动 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
步骤一：采用一带有螺纹的长条形转轴，与样品池连接，再用垫片和螺母将其锁紧；
步骤二：配制化学机械抛光液，并缓慢倒入一容器内；；
步骤三：当样品池被抛光液完全浸泡后，使样品池开始做旋转运动，进行化学机械抛光；样品池旋转速度为120～160rpm，抛光时间为45～90min。
2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光液，其特征在于，抛光液主要成分为：30wt％的双氧水溶液、85wt％的磷酸溶液、壳寡糖、苯骈三氮唑、去离子水以及碳化硅磨粒；
所述30wt％的双氧水溶液在抛光液中的含量为60～110mL/L，85wt％的磷酸溶液在抛光液中的含量为70～130mL/L，壳寡糖粉末在抛光液中的含量为8～12g/L，苯骈三氮唑含量为5～10g/L；
所述碳化硅磨粒粒径为500～1200μm，在抛光液中的含量为2～3.5g/mL。
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