[发明专利]磁性质测量系统和方法和使用其制造磁存储器件的方法

权利要求书

1.一种磁性质测量系统，包括：

平台，配置为保持样品；和

磁结构，设置在所述平台上方，

其中所述平台包括：

主体部分；

邻近所述主体部分的磁性部分；和

在所述主体部分中限定的多个孔，

其中所述平台的所述磁性部分和所述磁结构配置为将垂直于所述样品的一个表面的磁场施加到所述样品，以及

其中所述平台配置为在平行于所述样品的所述一个表面且彼此垂直的第一方向和第二方向上水平地移动。

2.根据权利要求1所述的磁性质测量系统，其中所述多个孔中的每个连接到设置在所述主体部分中的真空管线，以及

其中所述平台配置为通过经由所述多个孔抽取空气而将所述样品固定在所述平台上。

3.根据权利要求2所述的磁性质测量系统，还包括：

连接到所述真空管线的真空泵。

4.根据权利要求2所述的磁性质测量系统，其中所述磁性部分设置在所述主体部分上，以及

其中所述多个孔穿透所述磁性部分。

5.根据权利要求4所述的磁性质测量系统，其中所述磁性部分是涂覆在所述主体部分的顶表面上的涂层。

6.根据权利要求4所述的磁性质测量系统，其中所述平台配置为使得所述样品被放置在所述磁性部分的顶表面上。

7.根据权利要求2所述的磁性质测量系统，其中所述磁性部分设置在所述主体部分中，以及

其中所述多个孔穿透所述磁性部分。

8.根据权利要求7所述的磁性质测量系统，其中所述平台配置为使得所述样品被放置在所述主体部分的顶表面上。

9.根据权利要求1所述的磁性质测量系统，其中所述磁结构包括：极靴；和围绕所述极靴的外周表面的线圈。

10.根据权利要求1所述的磁性质测量系统，还包括：

光源，配置为将入射光照射到所述样品的所述一个表面；和

检测器，配置为检测从所述样品反射的光的偏振。

11.根据权利要求10所述的磁性质测量系统，还包括：

偏振器和分析器，

其中所述入射光经过所述偏振器照射到所述样品，以及

其中所述反射光经过所述分析器在所述检测器处被接收。

12.根据权利要求10所述的磁性质测量系统，还包括：

控制器，

其中所述控制器基于从所述检测器获得的数据而生成磁滞曲线。

13.一种测量磁性质的方法，该方法包括：

将样品装载于平台上；

通过使用真空而将所述样品固定在所述平台上；

通过在与所述样品的顶表面平行且彼此垂直的第一方向和第二方向上水平地移动所述平台，将所述样品的测量目标区域移动到光照射区域；

将入射光照射到所述样品的所述测量目标区域；以及

检测从所述样品的所述测量目标区域反射的光的偏振。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述样品包括：基板；和在所述基板上彼此横向地间隔开的磁隧道结图案。

15.根据权利要求14所述的方法，还包括：

将垂直于所述样品的所述顶表面的磁场施加到所述样品；以及

通过分析从所述样品的所述测量目标区域反射的光的偏振来获得关于所述磁隧道结图案的垂直磁性质的信息。

16.根据权利要求15所述的方法，其中获得关于所述磁隧道结图案的所述垂直磁性质的信息包括：通过使用极化磁光克尔效应生成所述磁隧道结图案的磁滞曲线。