[发明专利]一种智能半导体材料生产技术设备

权利要求书

1.一种智能半导体材料生产技术设备，包括撑杆（6）、连接座（5）、转板（9）、调距组件、收展组件、转轴（8）、立板（25）、基座（19）和移动组件，其特征在于：在所述基座（19）顶端面上通过移动组件设置有移动的移动座（16）,移动组件包括转动的移动螺纹杆（18），移动座（16）顶端面上通过竖直安装的电动伸缩杆（17）升降设置有打磨板（34），在移动组件一侧的基座（19）顶端面上固定有竖直的立板（25）,立板（25）上通过轴承转动安装有水平的转轴（8）,转轴（8）处于移动螺纹杆（18）上方，用于驱动转轴（8）转动的旋转电机（22）固定在立板（25）的一侧面上，在转轴（8）上滑动套置有两组连接座（5），两组所述连接座（5）相对背离的侧面上均铰接有两组撑杆（6），在两组连接座（5）朝向移动组件的底侧面上安装有用于收展四组撑杆（6）的收展组件，在两组连接座（5）背离移动组件的顶端面上安装有用于调节两组连接座（5）在转轴（8）上间距的调距组件，在四组所述撑杆（6）远离连接座（5）的一端上还设置有顶压组件（1），在转轴（8）靠近立板（25）的一端上固定有用于连接调距组件与收展组件的转板（9）；

所述调距组件包括调距螺纹杆（3）、调距螺纹套（4）和第一锁定组件（10），所述调距螺纹杆（3）与转轴（8）平行设置，调距螺纹杆（3）上螺纹套置有两组调距螺纹套（4），两组调距螺纹套（4）分别固定在两组连接座（5）上，在调距螺纹杆（3）远离立板（25）的一端上固定有限位环（2）,调距螺纹杆（3）连接两组调距螺纹套（4）的螺纹为反向设置，调距螺纹杆（3）朝向立板（25）的一端通过轴承转动连接在转板（9）上，且连接有转板（9）上设置的第一锁定组件（10）；

所述收展组件包括拉杆（26）、收展螺纹套（15）、轴承座（13）、方管（12）、方杆（11）、连接柱（7）和收展螺纹杆（14）,收展螺纹杆（14）设置有两组，在两组所述收展螺纹杆（14）上均螺纹套置有一组收展螺纹套（15），收展螺纹套（15）上通过销轴转动连接有拉杆（26）的一端，拉杆（26）的另一端转动套置在撑杆（6）中段固定的连接柱（7）上，两组收展螺纹杆（14）相对一端均固定连接有方杆（11），且连接处固定有限位环（2），两组方杆（11）分别通过轴承转动连接在两组连接座（5）上固定的轴承座（13）上，在两组方杆（11）相对一端上滑动套置有方管（12），两组所述方杆（11）伸入方管（12）的一端均固定有方管（12）内部滑动设置的滑块（30），一组所述收展螺纹杆（14）朝向转板（9）的一端设置有第二锁定组件。

2.根据权利要求1所述的一种智能半导体材料生产技术设备，其特征在于：所述第一锁定组件（10）包括第一转盘（31）、第一锁定螺栓（32）和把手（33）,第一转盘（31）与转动穿过转板（9）的调距螺纹杆（3）固定连接，在第一转盘（31）背离调距螺纹杆（3）的一侧面上偏心设置有把手（33），与把手（33）相对设置的第一锁定螺栓（32）螺纹穿过第一转盘（31）上开设的贯通的螺纹孔与转板（9）相抵。

3.根据权利要求1所述的一种智能半导体材料生产技术设备，其特征在于：第二锁定组件包括滑套（23）、第二锁定螺栓（36）和第二转盘（24）,滑套（23）固定套置在一组所述收展螺纹杆（14）朝向转板（9）的一端上，且滑套（23）滑动穿过转板（9），在收展螺纹杆（14）穿过转板（9）的一端上固定有第二转盘（24），螺纹穿过转板（9）还设置有与第二转盘（24）相抵的第二锁定螺栓（36）。

4.根据权利要求1所述的一种智能半导体材料生产技术设备，其特征在于：所述顶压组件（1）包括橡胶板（27）、顶压板（28）和弹簧（29）,顶压板（28）通过销轴转动连接在撑杆（6）外端开设的槽口内，在顶压板（28）外侧壁上固定有橡胶板（27），顶压板（28）朝向撑杆（6）的一端与撑杆（6）之间连接有弹簧（29）。

5.根据权利要求1所述的一种智能半导体材料生产技术设备，其特征在于：所述移动螺纹杆（18）螺纹穿过移动座（16）,移动螺纹杆（18）的两端通过轴承转动连接在安装板（20）上，两组安装板（20）固定在基座（19）的顶端面上，在移动螺纹杆（18）的一端还固定连接有基座（19）顶端面上移动电机（21）的机轴。

6.根据权利要求5所述的一种智能半导体材料生产技术设备，其特征在于：与所述移动螺纹杆（18）平行设置有保持杆（35）,保持杆（35）设置有两组，对称设置在移动螺纹杆（18）两侧，均滑动穿过移动座（16），两组保持杆（35）的两端均固定焊接安装板（20）。