[发明专利]单品硅热场坩埚用生产智能加工设备及其加工方法

说明书

本发明公开了单品硅热场坩埚用生产智能加工设备，包括保温筒和机械桁架，所述机械桁架的上方设置有固定横梁，所述固定横梁上设置有横梁滑轨，所述固定横梁的左右两端上均设置有固定滑座，所述固定滑座的下方设置有伸缩夹持臂，所述固定横梁中间位置处的下方设置有顶部轴承，所述顶部轴承的下方设置有上炉腔；本发明还提出了一种单品硅热场坩埚用生产智能加工设备的加工方法；本发明不仅解决了制备过程中因高温导致的不方便对其进行移动的问题，还对原有的设备加工单品硅进行改善，使得单品硅制备加工出来的纯度高，杂质少，给加工生产带来便捷，从而达到方便对设备进行移动调节，制备出的产品更加优质的目的。

技术领域

本发明属于单品硅技术领域，具体涉及单品硅热场坩埚用生产智能加工设备及其加工方法。

背景技术

单品硅是硅的单晶体，具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，纯度要求达到99.9999%，甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

目前单品硅的生产加工已经广泛运用于多个领域，但是现有的单品硅热场坩埚生产加工设备在使用时还有一些不足之处，因为单品硅在制备过程中需要极高的温度，导致其冷却速度慢，所以不方便对其进行移动，而且原有的单品硅制备加工出来的纯度不高，内含杂质多，容易出现瑕疵，从而给加工生产带来不便。

发明内容

本发明的目的在于提供单品硅热场坩埚用生产智能加工设备及其加工方法，以解决上述背景技术中提出单品硅在制备过程中需要极高的温度，导致其冷却速度慢，所以不方便对其进行移动，而且原有的单品硅制备加工出来的纯度不高，内含杂质多，容易出现瑕疵，给加工生产带来不便的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单品硅热场坩埚用生产智能加工设备，包括保温筒和机械桁架，所述机械桁架的上方设置有固定横梁，所述固定横梁上设置有横梁滑轨，所述固定横梁的左右两端上均设置有固定滑座，所述固定滑座的下方设置有伸缩夹持臂，所述固定横梁中间位置处的下方设置有顶部轴承，所述顶部轴承的下方设置有上炉腔，所述上炉腔的下方设置有隔离阀，所述隔离阀的下方设置有保温筒，所述隔离阀的下方位于保温筒的内部顶端设置有单晶硅棒，所述单晶硅棒的右侧设置有导流筒，所述单晶硅棒的下方设置有石英坩埚，所述石英坩埚的下方设置有石墨坩埚，所述石墨坩埚的外部设置有防护套，所述石墨坩埚的左右两侧均设置有加热器，所述石墨坩埚的下方设置有坩埚底座，所述坩埚底座中间位置处的下方设置有中心轴，所述中心轴的底端设置有底部轴承，所述中心轴的底端左右两端位于加热器的下方设置有石墨电极，所述中心轴的下方设置有底座防护板，所述保温筒的内部上方位置处设置有加热腔，所述加热腔的下方设置有铸锭炉，所述铸锭炉的下方设置有水箱，所述水箱的左右两侧均设置有导向柱，所述水箱的下方设置有拖车，所述拖车的下方设置有托盘架，所述托盘架的左右两侧对应设置有支架，所述中心轴靠近底端位置处设置有中轴器，所述中轴器的左侧设置有顶升机，所述中轴器的右侧设置有电机，所述电机的右侧设置有导向板，所述加热器的上下两端均设置有加热器固定座，所述机械桁架、加热器和电机均与外部电源电性连接。

优选的，所述固定滑座共设置有两组，所述两组固定滑座对应安装在固定横梁上，所述固定滑座与固定横梁之间通过横梁滑轨滑动连接，所述两组固定滑座的下方均对应设置有伸缩夹持臂，所述每组伸缩夹持臂通过伸缩进行调节，所述保温筒与机械桁架之间通过伸缩夹持臂进行夹持固定连接。

优选的，所述保温筒与固定横梁之间通过顶部轴承固定连接，所述上炉腔的顶端与顶部轴承之间通过螺纹固定连接，所述上炉腔的底端与隔离阀之间通过螺纹固定连接。

优选的，所述导流筒共设置有两个，所述两个导流筒对应安装在石英坩埚上方的左右两侧。

优选的，所述支架的一端与托盘架焊接固定，所述述支架的另一端与导向柱焊接固定。

优选的，所述底座防护板与保温筒一体成型，所述保温筒为中空圆柱体结构。