[发明专利]多波长光场能量测量方法有效
申请号: | 201911001623.X | 申请日: | 2019-10-21 |
公开(公告)号: | CN110736556B | 公开(公告)日: | 2021-01-01 |
发明(设计)人: | 朱健强;葛银娟;潘兴臣;董学;陶华;刘诚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J11/00 | 分类号: | G01J11/00;G01J1/00 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 波长 能量 测量方法 | ||
1.一种多波长光场能量的测量方法,其特征在于,测量光路依次包括:衰减比例已知衰减模块(1)、波前调制器(2)、CCD探测器(3),所述的CCD探测器(3)的输出端与计算机(4)的输入端相连,所述的波前调制器(2)与CCD探测器(3)之间的距离为L,所述的衰减模块(1)的出射光处距离所述的波前调制器(2)为Lf,不同波长的光束的波长分别为λ1,λ2,λ3,...,λN,N1;所述的波前调制器(2)对于不同波长的分布已知,表示为ds,s=1,2,…,N,其中小标s表示波前调制器(2)对不同波长的分布,其特征在于该方法包括下列步骤:
1)调整衰减模块(1)并记录衰减比例αs,使得CCD探测器(3)记录的衍射光斑强度在其动态范围内,同时保证曝光时间大于脉冲宽度,利用触发信号触发得到单幅衍射光斑I,完成数据记录;对于连续光,同时记录设定的曝光时间,得到单幅衍射光斑I,完成数据记录;输入所述的计算机;
2)利用计算机进行迭代运算,首先对波前调制器(2)所在平面S1上的不同波长的入射光进行初始猜测,对应的波前分布为D_illu0,s其中s=1,2,…,N;进行第k次迭代过程如下:
①分别计算第s个待测波前经过波前调制器(2)后的出射光,得到Dk,s=D_illuk,s×ds,其中k表示迭代次数,s=1,2,…,N;
②分别计算Dk,s传播到CCD面S3的散斑分布其中表示正向衍射光程,同时计算误差其中p、q表示矩阵行列数;
③利用记录的光斑I,按照如下公式,针对于每个波长λs对diffk,s进行修正振幅,并保持相位不变,得到更新后的光场分布
④将更新后的不同波长的光的波前逆传播回波前调制面,其中波长λs对应的逆传播回的波前调制面照明光分布为:其中表示逆向传播;
⑤按照如下公式计算得到不同波长的光对应的修正后的波前调制器(2)入射波前分布:
其中,conj()表示取共轭;
⑥将更新后的D_illu′k,s传播到中间面S2,S2为实际焦平面或者虚拟焦平面得到按照如下公式,加入中间面S3的空间有限限制Fxyk,s,得到修正后的focus′k,s=focusk,s×Fxyk,s,Fxyk,s是随着迭代次数直径不断变大的孔函数,当直径增大到最大值的时候就不再增大;
⑦将focus′k,s再次逆向传播回平面S1,得到再次更正后的波前调制器(2)照明光并作为第k+1次迭代过程的初始猜测;
⑧重复步骤①-⑦,直到errork足够小,结束迭代过程,得到N个入射波前的最终复振幅分布D_illus;
3)分别对D_illus振幅分布按像素求和得到再按公式计算得到N个波长的能量其中βs为所述的CCD探测器(3)对波长λs的响应系数,完成能量测量;
对于连续光,计算出能量后,根据曝光时间,按下列公式计算得到各自的平均功率Powers=Es/texposure,其中,texposure为CCD记录的曝光时间。
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