[发明专利]一种CVD金刚石散射片在审

专利信息
申请号: 201911001803.8 申请日: 2019-10-21
公开(公告)号: CN112698460A 公开(公告)日: 2021-04-23
发明(设计)人: 蒋荣方;刘宏明;王骏;赵芬霞 申请(专利权)人: 湖州中芯半导体科技有限公司
主分类号: G02B7/00 分类号: G02B7/00;G02B5/02
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 任娜娜
地址: 313000 浙江省湖州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 cvd 金刚石 散射
【权利要求书】:

1.一种CVD金刚石散热片装置,其特征在于:包括金刚石散射片、水循环驱动装置、散射片水冷装置和金刚石散射片外框,所述金刚石散射片设于金刚石散射片外框内,所述散射片水冷装置固接设于金刚石散射片外框外表面,所述水循环驱动装置设于散射片水冷装置内,所述金刚石散射片外框包括水冷上水槽、水冷下水槽、水冷循环管道和散热铜管,所述水冷下水槽和水冷上水槽设于金刚石散射片外框两相对端的外表面上,所述水冷循环管道一端接于水冷下水槽侧面,所述水冷循环管道另一端接于水冷上水槽侧面,所述散热铜管均匀设于水冷下水槽与水冷上水槽的侧面,所述金刚石散射片由CVD金刚石单晶制成。

2.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石散热片装置,其特征在于:所述水循环驱动装置包括水冷驱动电机、水冷驱动电机保护罩和圆形螺旋桨,所述水冷驱动电机保护罩设于水冷下水槽内侧壁上,所述水冷驱动电机设于水冷驱动电机保护罩内,所述圆形螺旋桨设于水冷驱动电机的转动轴上。

3.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石散热片装置,其特征在于:所述金刚石片散射片外框为中空圆柱体结构设置。

4.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石散热片装置,其特征在于:所述水冷上水槽和水冷下水槽为中空结构。

5.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石散热片装置,其特征在于:所述水冷循环管道为中空弧形圆柱体结构。

6.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石散热片装置,其特征在于:所述金刚石散射片内设有水冷镜面通道。

7.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石散热片装置,其特征在于:所述金刚石散射片上底面和下底面经过机械粗磨表面粗糙度为100um。

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