[发明专利]一种高强耐蚀物理气相沉积涂层制造方法及深海电机

权利要求书

1.一种高强耐蚀物理气相沉积涂层制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

S100、对电机壳体和轴伸进行喷砂、抛光和清洗的预处理；

S200、将预处理后的电机壳体和轴伸在真空室中偏压清洗，随后涂覆3～5μm的铝基涂层，完成镀膜。

2.根据权利要求1所述的一种高强耐蚀物理气相沉积涂层制造方法，其特征在于，在步骤S100中，喷砂所使用喷砂料为120目玻璃砂，且低喷砂压力、低气体压力进行喷砂处理，具体低喷砂压力1～2kg/㎡，低气体压力1～2kg/㎡。

3.根据权利要求1所述的一种高强耐蚀物理气相沉积涂层制造方法，其特征在于，选用核桃壳抛光磨料进行抛光，抛光时间为30min。

4.根据权利要求1所述的一种高强耐蚀物理气相沉积涂层制造方法，其特征在于，使用丙酮超声清洗3～5min，最后使用无水乙醇清洗3～5min。

5.根据权利要求1所述的一种高强耐蚀物理气相沉积涂层制造方法，其特征在于，在步骤S200中，将预处理的电机壳体和轴伸放入真空室中，持续40min的加热，温度为200℃，随后持续通入气压为1Pa的氩气。

6.根据权利要求5所述的一种高强耐蚀物理气相沉积涂层制造方法，其特征在于，持续通入的氩气，并调节偏压电压300V～500V，占空比从50％至90％逐渐升高，期间控制通入气体流量。

7.根据权利要求5所述的一种高强耐蚀物理气相沉积涂层制造方法，其特征在于，持续通入氩气至偏压值达到500V，占空比90％，持续20min，随后出去表面氧化膜；

通入氩气1h后，调节气压至0.8Pa，设定偏压100V，占空比90％，调节铝靶电源功率从10KW逐渐升高到20KW，待靶放电稳定，镀膜30min，完成铝基涂层涂覆。

8.一种利用权利要求1-8任意一项所述的高强耐蚀物理气相沉积涂层制造方法的深海电机，其特征在于，包括外套壳体(1)、电机壳体(2)、设置在电机壳体(2)内的电机(3)以及连接在电机(3)的输出轴上的轴伸(4)；

位于轴伸(4)端的电机壳体(2)上设置有密封端盖(5)，且所述轴伸(4)延轴向延伸出密封端盖(5)和外套壳体(1)，相对于密封端盖(5)的电机壳体(2)另一端设置有压力平衡膜(6)；

所述电机壳体(2)通过活动垫(7)套装在外套壳体(1)内部。

9.根据权利要求8所述的一种利用高强耐蚀物理气相沉积涂层的深海电机，其特征在于，所述电机(3)与电机壳体(2)之间、电机壳体(2)与外套壳体(1)之间均填充有液体介质(8)，所述电机壳体(2)两端设置有凸起圈(9)，所述活动垫(7)套装在凸起圈(9)上。

10.根据权利要求8所述的一种利用高强耐蚀物理气相沉积涂层的深海电机，其特征在于，所述压力平衡膜(6)有若干层，且所述压力平衡膜(6)的外缘套装在活动垫(7)与凸起圈(9)之间。