[发明专利]一种大面积表面损伤柔性探测装置有效
| 申请号： | 201911005501.8 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN110779965B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 张千;张校卿;向勇;刘帅 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/24 | 分类号： | G01N27/24 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 大面积 表面 损伤 柔性 探测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种大面积表面损伤柔性探测装置，其特征在于：该装置包括绝缘柔性衬底、柔性薄膜晶体管传感阵列、氟化物有机介电薄膜、柔性电路板以及引脚；
其中，所述绝缘柔性衬底上依次沉积有柔性薄膜晶体管传感阵列和氟化物有机介电薄膜，所述氟化物有机介电薄膜完全重叠于柔性薄膜晶体管传感阵列之上；
所述柔性电路板通过各向异性导电胶与柔性薄膜晶体管传感阵列相连，其输出端通过引脚和电脑输入端相连接。
2.根据权利要求1所述的大面积表面损伤柔性探测装置，其特征在于：所述氟化物有机介电薄膜的沉积厚度为5μm～100μm；所述柔性薄膜晶体管传感阵列规格为5mm×5mm～200mm×200mm。
3.根据权利要求2所述的一种大面积表面损伤柔性探测装置：其特征在于：所述氟化物有机介电薄膜为PVDF有机介电膜。
4.根据权利要求3所述的一种大面积表面损伤柔性探测装置：其特征在于：所述绝缘柔性衬底为聚酰亚胺薄膜。
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