[发明专利]校准阻抗测量设备

权利要求书

1.一种校准用于测量被测设备(dut(101))的低水平阻抗的阻抗测量设备(100)的方法，所述方法包括：

在有力与感测走线(170)连接的情况下，使用短路校准标准件(411)在预定的频率范围内执行所述阻抗测量设备(100)的短路校准测量，以获得短路原始数据；

使用第一分流校准标准件(412)在所述预定的频率范围内执行所述阻抗测量设备(100)的第一分流校准测量，以获得第一原始数据，所述第一分流校准标准件(412)具有已知的第一电阻值和未知的第一电感(272)值；

使用第二分流校准标准件(413)在所述预定的频率范围内执行所述阻抗测量设备(100)的第二分流校准测量，以获得第二原始数据，所述第二分流校准标准件(413)具有已知的第二电阻值和未知的第二电感(272)值；

通过使用应用于表示所述阻抗测量设备(100)的系统误差项的特定误差模型(200)的所述短路原始数据以及所述第一原始数据和所述第二原始数据计算所述第一电感和所述第二电感(272)值来分别确定所述第一分流校准标准件和所述第二分流校准标准件(412和413)的第一和第二复阻抗；以及

使用所述第一和第二复阻抗、所述短路原始数据、以及应用于标准单端口校准程序的所述第一原始数据和所述第二原始数据来确定所述阻抗测量设备(100)的误差模型(200)的通用误差系数。

2.根据权利要求1的方法，其中，确定所述第一分流校准标准件和所述第二分流校准标准件(412和413)的所述第一和第二复阻抗包括：

使用所述第一原始数据和所述第二原始数据，根据所述特定误差模型(200)来确定模型误差系数；以及

使用所述模型误差系数以及所述第一原始数据和所述第二原始数据来计算所述第一电感和所述第二电感(272)值。

3.根据权利要求1的方法，其中，所述第一分流校准标准件(412)和所述第二分流校准标准件(413)中的每一个都具有在大约1微欧姆至大约100欧姆之间的低水平阻抗。

4.根据权利要求2的方法，其中，所述模型误差系数包括与所述阻抗测量设备(100)对应的偏移阻抗、复缩放值、和互感。

5.根据权利要求4的方法，还包括：

在没有所述力与感测走线(170)连接的情况下，使用初始短路校准标准件(411)开始执行所述阻抗测量设备(100)的初始短路校准测量，以获得初始短路原始数据；以及

使用所述初始短路校准测量来计算所述偏移阻抗。

6.根据权利要求5的方法，还包括：

在有所述力与感测走线(170)连接的情况下，使用所述初始短路校准标准件(411)开始执行所述初始短路校准测量，其中，所述初始短路校准标准件(411)与所述短路校准标准件(411)相比具有不同的特性，所述不同的特性包括力与感测走线(170)之间的不同的电流路径长度或不同磁耦合中的至少一个。

7.根据权利要求1的方法，还包括：

通过所述力与感测走线(170)连接将所述dut(101)连接至所述阻抗测量设备(100)；

在所述预定的频率范围的至少一部分上测量所述dut(101)的阻抗；以及

使用所测量的阻抗和所确定的通用误差系数来确定所述dut(101)的经校准复阻抗。

8.根据权利要求1的方法，其中，所述第一原始数据包括被系统误差干扰的第一测量阻抗，所述第二原始数据包括被系统误差干扰的第二测量阻抗。

9.根据权利要求1的方法，其中，所述标准的单端口校准程序是基于线性网络模型。

10.根据权利要求9的方法，其中，线性网络模型包括线性网络参数，包括ABCD参数、S参数和/或Z参数。