[发明专利]一种IBC太阳能电池金属化栅线结构的制备方法在审
申请号: | 201911006554.1 | 申请日: | 2019-10-22 |
公开(公告)号: | CN111477697A | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 刘大伟;屈小勇;宋志成 | 申请(专利权)人: | 国家电投集团西安太阳能电力有限公司;黄河水电西宁太阳能电力有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 安曼 |
地址: | 710099 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ibc 太阳能电池 金属化 结构 制备 方法 | ||
1.一种IBC太阳能电池金属化栅线结构的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1、分别对N型晶体硅基体的前表面和背面表面进行掺杂处理,在N型基体的前表面形成n+前表面场,背表面形成相互交替排列的背表面场n+掺杂区域和发射结p+掺杂区域;前表面形成钝化减反射膜,背表面形成钝化膜;
S2、在衬底硅片的背面n+掺杂区域和P+掺杂区域印刷浆料,其中印刷浆料的图形采用局部接触,印刷后进行烘干处理;
S3、在步骤S2处理后,印刷浆料形成非接触电极,其中印刷浆料的图形采用镂空方案;
S4、对印刷局部接触浆料和非接触浆料的N型硅片进行高温烧结处理工艺,从而在n+掺杂区域和P+掺杂区域形成相应的电极。
2.如权利要求1所述的IBC太阳能电池金属化栅线结构的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中,局部接触电极包括但不限于圆形点、方形点、矩形点和非连续的线段。
3.如权利要求1所述的IBC太阳能电池金属化栅线结构的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中,局部接触电极印刷用的浆料为烧穿浆料,其在高温过程中与硅形成欧姆接触特性。
4.如权利要求1所述的IBC太阳能电池金属化栅线结构的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中,非接触电极的图形采用镂空方案,其镂空区域图形与局部接触电极的图形相对应,即包括但不限于圆形、方形、矩形和非连续的线段。
5.如权利要求1所述的IBC太阳能电池金属化栅线结构的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中,非接触电极的图形与局部接触电极的图形之间部分重叠。
6.如权利要求1所述的IBC太阳能电池金属化栅线结构的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中,非接触电极印刷用的浆料为非烧穿浆料,其在高温烧结过程中与底层的硅不形成欧姆接触特性。
7.如权利要求1所述的IBC太阳能电池金属化栅线结构的制备方法,其特征在于,所述步骤S4中,采用高温烧结工艺,在高温烧结过程后,局部接触电极与非接触电极形成IBC扩散区域相应的栅线电极。
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