[发明专利]真空冷却干燥设备以及显示功能层干燥方法在审
申请号: | 201911006640.2 | 申请日: | 2019-10-22 |
公开(公告)号: | CN110867529A | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 毕研亮 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨艇要 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 冷却 干燥设备 以及 显示 功能 干燥 方法 | ||
本揭示提供一种真空冷却干燥设备以及显示功能层干燥方法。所述真空冷却干燥设备包括密封舱体、真空泵、可旋转的底板以及引流板。所述真空泵设置于所述密封舱体内,所述真空泵用于维持所述密封舱体的真空度。所述可旋转的底板设置于所述密封舱体内。所述引流板设置于所述密封舱体内,所述引流板包括开孔结构,且所述开孔结构与所述可旋转的底板相对设置。通过所述真空冷却干燥设备使显示功能层上方的蒸汽压稳定和均一。
【技术领域】
本揭示涉及一种显示技术领域,特别涉及一种真空冷却干燥设备以及显示功能层干燥方法。
【背景技术】
在现有技术中,目前喷墨打印(ink jet printing,IJP)有机发光二极管(organiclight emitting diode,OLED)显示装置生产过程中,由于产品具有多样性,不同产品的基板的像素(pixel)设计不同,开口尺寸不同,由此导致在成膜过程中,真空干燥处理时显示功能层各处表面的上方的蒸汽压浓度不均一,易造成所述显示功能层的膜面不均匀而产生mura的问题,也就是OLED显示装置亮度不均匀,造成各种痕迹的现象。
故,有需要提供一种真空冷却干燥设备,以解决现有技术存在的问题。
【发明内容】
为解决上述技术问题,本揭示的一种目的在于提供一种真空冷却干燥设备以及显示功能层干燥方法,其能使显示功能层上方的蒸汽压稳定和均一。
为达成上述目的,本揭示提供所述真空冷却干燥设备包括密封舱体、真空泵、可旋转的底板以及引流板。所述真空泵设置于所述密封舱体内,所述真空泵用于维持所述密封舱体的真空度。所述可旋转的底板设置于所述密封舱体内。所述引流板设置于所述密封舱体内,所述引流板包括开孔结构,且所述开孔结构与所述可旋转的底板相对设置。通过所述真空冷却干燥设备使显示功能层上方的蒸汽压稳定和均一。
于本揭示其中的一实施例中,所述可旋转的底板用于承载显示功能层相对所述引流板旋转,以均匀所述显示功能层上方的蒸汽浓度。
于本揭示其中的一实施例中,所述引流板的所述开孔结构包括多个开孔,所述开孔的大小相同,所述开孔与所述显示功能层一一对应。
于本揭示其中的一实施例中,所述引流板的所述开孔结构的多个开孔的形状相同且等间隔设置。
于本揭示其中的一实施例中,通过所述引流板的所述开孔结构处的抽力来干燥所述显示功能层。
于本揭示其中的一实施例中,所述可旋转的底板具有加热器,用于均匀所述显示功能层的蒸汽浓度以干燥所述显示功能层。
于本揭示其中的一实施例中,所述的真空冷却干燥设备还包括控制器,所述控制器与所述可旋转的底板连接,用于控制所述可旋转的底板的旋转。
为达成上述目的,本揭示还提供一种显示功能层干燥方法。所述显示功能层干燥方法包括:
提供真空冷却干燥设备,所述真空冷却干燥设备包括:
密封舱体;
真空泵,所述真空泵设置于所述密封舱体内,所述真空泵用于维持所述密封舱体中的操作压力真空度;
可旋转的底板,所述可旋转的底板设置于所述密封舱体内;以及
引流板,所述引流板设置于所述密封舱体内,所述引流板包括开孔结构,且所述引流板的所述开孔结构与所述可旋转的底板对应相对设置;将显示功能层置放于所述可旋转的底板上;以及使所述可旋转的底板相对所述引流板旋转,以均匀所述显示功能层上方的蒸汽浓度。
于本揭示其中的一实施例中,通过所述引流板的所述开孔结构处的抽力来干燥所述显示功能层。
于本揭示其中的一实施例中,通过所述可旋转的底板的加热器来均匀所述显示功能层上方的蒸汽浓度和干燥所述显示功能层。
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