[发明专利]一种适用于不同大尺寸规格石墨载板的防绕镀石墨挡板在审
申请号: | 201911006786.7 | 申请日: | 2019-10-22 |
公开(公告)号: | CN111471981A | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 任杰;高艳飞;张强;宋标;马正青;李安邦;袁逸秀;王丽娜;谭磊 | 申请(专利权)人: | 国家电投集团西安太阳能电力有限公司;黄河水电西宁太阳能电力有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50;H01L31/18 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 安曼 |
地址: | 710099 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 不同 尺寸 规格 石墨 防绕镀 挡板 | ||
本发明公开了一种适用于不同大尺寸规格石墨载板的防绕镀石墨挡板,包括石墨载板,所述石墨载板的侧壁上设有多个石墨导条,且石墨导条与石墨载板之间设有石墨垫片,所述石墨载板的两端均设有石墨防绕镀挡板,且石墨防绕镀挡板通过多个沉头螺丝与石墨载板连接,所述石墨载板的两侧均设有第一辅助固定机构。本发明避免了因尺寸过长导致反应硅片受热不均匀而产生色差,有效的解决了大尺寸规格的石墨载板在实际生产中的绕镀及色差问题,满足了不同厂商技术改造的需求、改善了产品质量、降低了生产成本、提升了设备的利用率。
技术领域
本发明涉及晶硅太阳能电池制造技术领域,尤其涉及一种适用于不同大尺寸规格石墨载板的防绕镀石墨挡板。
背景技术
在晶硅太阳能电池制造过程中,板式PECVD镀膜是行业中普遍用到的设备,随着不同厂家在现有设备上提升产量的趋势日益增大,大多数厂家选择技术改造,采购使用大尺寸规格(4*6以上)石墨载板来增加设备产能,而石墨载板尺寸增加,设备工艺腔室尺寸很难改变以及工艺气体流量一般在产线配套工艺设定后不能大空间变化,导致大尺寸石墨载板在增加放片框格后很难保证前后边框宽度,前后边框宽度变窄很容易导致气体绕镀反应,绕过石墨载板在硅片正表面反应造成绕镀膜,产生大量不合格,对各厂商在现有设备基础上技术改造提升产能造成很大困扰;
因此,非常需要一种适用于不同规格大尺寸石墨载板的防绕镀石墨挡板,来解决上述现有存在的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种适用于不同大规格尺寸石墨载板的防绕镀石墨挡板,能够解决不同规格大尺寸石墨载板在电池片生产过程中产生的绕镀,色差等一系列EL、外观问题。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种适用于不同大尺寸规格石墨载板的防绕镀石墨挡板,包括石墨载板,所述石墨载板的侧壁上设有多个石墨导条,且石墨导条与石墨载板之间设有石墨垫片,所述石墨载板的两端均设有石墨防绕镀挡板,且石墨防绕镀挡板通过多个沉头螺丝与石墨载板连接,所述石墨载板的两侧均设有第一辅助固定机构。
优选地,所述石墨防绕镀挡板采用长方体条形设计,且石墨防绕镀挡板的宽度与伸出前后两排放片框格尺寸可根据不同生产产品或不同气体流量进行调整。
优选地,所述石墨防绕镀挡板采用防绕镀与防色差一体的功能,且石墨防绕镀挡板伸出石墨载板前后两排放片框格的尺寸范围不超过5-8mm。
优选地,所述第一辅助固定机构包括竖直设置的安装板,所述安装板为中空结构,且安装板内设有竖直设置的螺纹杆,所述螺纹杆的一端与安装板的内壁转动连接,且螺纹杆的另一端贯穿安装板的侧壁设置,所述螺纹杆上套设有两个对称设置的螺母,且两个螺母上均固定连接有限位机构,所述安装板的侧壁上设有与限位机构匹配设置的第一条形开口,且两个限位机构均贯穿第一条形开口设置。
优选地,所述限位机构包括水平设置的第一限位板与第二限位板,所述第一限位板为中空结构,且第二限位板插设在第一限位板中,所述第二限位板的一端固定连接有竖直设置的滑板,且第二限位板的另一端贯穿第一限位板的侧壁并固定连接有第二辅助固定机构,所述滑板通过多个第一弹簧与第一限位板的底壁连接,所述第一限位板的侧壁上设有与滑板匹配设置的第二条形开口,且滑板贯穿第二条形开口设置。
优选地,所述螺纹杆的外螺纹由对称设置的第一外螺纹与第二外螺纹组成,且第一外螺纹与第二外螺纹旋向相反设置,两个所述螺母分别套设在第一外螺纹与第二外螺纹上。
优选地,所述螺纹杆上套设有螺帽,且螺帽位于安装板的外部。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的