[发明专利]一种硅片手动脱胶装置

说明书

一种硅片手动脱胶装置，涉及半导体硅棒多线切割后脱胶技术领域，包括提篮、固定基座和硅片接片槽，固定基座和硅片接片槽从上到下依次悬设于提篮内，固定基座用于卡设装有切割后未脱胶硅片的工件夹板，切割后未脱胶硅片随工件夹板一同倒挂于提篮内的固定基座上，切割后未脱胶硅片由于自重自动脱落于固定基座下方的硅片接片槽中进行脱胶。本发明有益效果：本发明提供了一种硅片手动脱胶装置实现倒挂对硅棒进行手动脱胶，结构简单，设置合理，有效解决了现有脱胶工艺中存在的问题。

技术领域

本发明属于半导体硅棒多线切割后脱胶技术领域，具体涉及一种硅片手动脱胶装置。

背景技术

半导体硅棒与工件板的固定通常是用胶水来实现的，目的是使硅棒在切割过程中不移动，一般使用的都是环氧树脂，俗称AB胶。在经过线切割后的首个工序就是脱胶清洗，把切割成片的硅棒从工件夹板上完整的取下来，这就需要对硅片进行脱胶处理，脱胶时所需的液体温度根据所使用的粘接剂来定，其原理是粘接剂在一定的温度范围内会软化，硅片自动从工件板上完整的脱落。

现有脱胶工艺为硅棒朝上平放手动脱胶。线切割机的切割速度快，根部附着面积小，在脱胶过程中，硅片在没有完全脱离工件夹板时出现倾倒，会发生根部断裂的情况，造成损失。针对这个问题，采取倒挂手动脱胶方式来解决。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种硅片手动脱胶装置，有效解决背景技术中提到的原有脱胶工艺存在的问题，降低了生产设备成本。

本发明为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种硅片手动脱胶装置，包括提篮、固定基座和硅片接片槽，固定基座和硅片接片槽从上到下依次悬设于提篮内，固定基座用于卡设装有切割后未脱胶硅片的工件夹板，切割后未脱胶硅片随工件夹板一同倒挂于提篮内的固定基座上，切割后未脱胶硅片由于自重自动脱落于固定基座下方的硅片接片槽中进行脱胶。

本发明所述固定基座包括2个与提篮内部形状相适应的长方体底座Ⅰ，在2个长方体底座Ⅰ相对的一侧分别设有与工件夹板端部形状相适应的卡槽，在每个长方体底座Ⅰ的两端底部分别设有固定片，每个固定片上分别开设有2个固定孔，所述提篮两侧与固定孔对应的位置分别设有固定基座安装孔，固定基座安装孔与固定孔位置对应并固定螺丝实现对固定基座的固定。

本发明所述硅片接片槽包括与提篮内形状相适应的长方体底座Ⅱ，长方体底座Ⅱ上开设用于接收切割后未脱胶硅片的长槽，在长方体底座Ⅱ两端的底部分别设有连接件，连接件上均开设有一个通孔，所述提篮的两侧与连接件上通孔对应位置也分别开设有提篮穿孔，固定丝杆依次穿过提篮穿孔和通孔后拧紧螺帽实现对硅片接片槽的固定。

本发明所述硅片接片槽的底部设有排水槽，在硅片完全脱胶后，把装有已脱胶硅片的提篮从脱胶水槽中抬出，硅片接片槽中的水从排水槽排出。

本发明所述提篮的两端分别设有方便移动提篮的提手。

本发明所述固定基座安装孔为长方形。

本发明所述手动脱胶装置还包括用于调节硅片接片槽长度的定距挡板，硅片接片槽的长槽两侧对应设有多对定距挡板固定槽，定距挡板两端卡设在长槽两侧对应的一对定距挡板固定槽中以实现对不同长度的硅棒脱胶。

本发明所述硅片接片槽的长槽为四氟半圆形槽体以减少硅片与槽壁的碰撞。

本发明的有益效果是：本发明提供了一种硅片手动脱胶装置实现倒挂对硅棒进行手动脱胶，结构简单，设置合理，有效解决了现有脱胶工艺中存在的在脱胶过程中，硅片在没有完全脱离工件夹板时出现倾倒，会发生根部断裂的情况，造成损失等问题，提高产品合格率，减少生产成本。

附图说明

图1为本发明提篮整体结构示意图；

图2为本发明固定基座整体结构示意图；

图3为本发明硅片接片槽整体结构示意图；