[发明专利]一种籽晶加工方法、夹持工装及夹持工装的使用方法

权利要求书

1.一种籽晶加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

沿硅棒(100)的轴向切割所述硅棒(100)，以使所述硅棒(100)沿径向分割为多个预制板体(110)；

将所述预制板体(110)的圆弧侧面切割为平面以形成籽晶(120)，多个所述籽晶(120)中至少一个的横截面形状为梯形。

2.如权利要求1所述的籽晶加工方法，其特征在于，多个所述预制板体(110)包括：

第一板体(111)，由所述硅棒(100)的中心位置切割形成，切割所述第一板体(111)形成的籽晶(120)的截面形状为矩形；以及

第二板体(112)，由所述硅棒(100)中与所述第一板体(111)对应部分的两侧位置切割形成，切割所述第二板体(112)形成的籽晶(120)的截面形状为梯形。

3.如权利要求2所述的籽晶加工方法，其特征在于，多个所述预制板体(110)中的一个为所述第一板体(111)，其余为所述第二板体(112)。

4.如权利要求3所述的籽晶加工方法，其特征在于，多个所述第二板体(112)以所述第一板体(111)对称设置。

5.一种夹持工装，适用于权利要求1-4中任一项所述的籽晶加工方法，其特征在于，包括：

升降支撑台(24)，用于支撑硅棒(100)，所述升降支撑台(24)能带动其上支撑的所述硅棒(100)升降；

夹具，所述夹具包括相对设置的两个夹持端(231)，所述升降支撑台(24)位于两个所述夹持端(231)之间，所述夹具能沿所述硅棒(100)的轴向夹持所述硅棒(100)。

6.如权利要求5所述的夹持工装，其特征在于，所述升降支撑台(24)包括：

平台，所述平台用于支撑所述硅棒(100)；及

升降驱动机构，所述升降驱动机构的输出端与所述平台连接，所述升降驱动机构用于驱动所述平台升降。

7.如权利要求6所述的夹持工装，其特征在于，所述夹持工装还包括：

底座(21)，所述夹具设置于所述底座(21)上，所述升降驱动机构嵌入所述底座(21)内，至少部分所述平台能嵌入所述底座(21)内。

8.如权利要求6所述的夹持工装，其特征在于，所述平台的顶面为与所述硅棒(100)的外周面配合的弧面。

9.如权利要求5-8中任一项所述的夹持工装，其特征在于，两个所述夹持端(231)中，至少一个能沿靠近或远离另一个的方向移动，以夹持或松开所述硅棒(100)。

10.如权利要求9所述的夹持工装，其特征在于，所述夹具还包括：

支架(22)，设置于所述升降支撑台(24)的一侧，所述支架(22)上设置有一个所述夹持端(231)；及

水平驱动机构(232)，设置于所述升降支撑台(24)相对的另一侧，所述水平驱动机构(232)的输出端安装有另一所述夹持端(231)，所述水平驱动机构(232)的输出端能靠近或远离所述支架(22)。

11.如权利要求5-8中任一项所述的夹持工装，其特征在于，所述夹具能绕水平轴线转动，以带动被夹持的所述硅棒(100)旋转，所述水平轴线沿所述硅棒(100)的轴向延伸。

12.如权利要求11所述的夹持工装，其特征在于，所述夹持工装还包括：

角度测量装置(25)，所述角度测量装置(25)用于测量所述夹具的旋转角度。

13.如权利要求12所述的夹持工装，其特征在于，所述角度测量装置(25)包括角度尺，所述角度尺的中心位于所述水平轴线上。