[发明专利]基于太赫兹波段的可调谐等离激元镊装置、系统及方法

权利要求书

1.一种基于太赫兹波段的可调谐等离激元镊装置，其特征在于，其包括，

基层，

中间层，其层叠于所述基层上，所述中间层为石墨烯层，

上层，其层叠于所述中间层上，其包括多个槽，槽的几何结构和/或尺寸使得太赫兹电磁波能量局域聚焦在槽的内部以在所述槽内部形成三维势阱力，上层为金属薄膜层。

2.如权利要求1所述的基于太赫兹波段的可调谐等离激元镊装置，其特征在于，所述中间层设有调节其电磁属性的可变电压场。

3.如权利要求1所述的基于太赫兹波段的可调谐等离激元镊装置，其特征在于，多个槽为周期性槽阵列。

4.如权利要求3所述的基于太赫兹波段的可调谐等离激元镊装置，其特征在于，所述周期性槽阵列包括矩形槽阵列或矩形领结槽阵列，其中，领结结构包括两个几何参数相等的等腰梯形和一个正方形，等腰梯形的上底与正方形的边长相等，正方形的边长为0-100μm，等腰梯形的下底与矩形的宽度相等。

5.如权利要求1所述的基于太赫兹波段的可调谐等离激元镊装置，其特征在于，矩形槽阵列中，太赫兹电磁波局域聚焦点发生于矩形槽的中心位置，矩形-领结形槽阵列中，太赫兹电磁波局域聚焦点发生于由领结结构分隔开来的两个矩形槽的中心位置。

6.如权利要求1所述的基于太赫兹波段的可调谐等离激元镊装置，其特征在于，所述尺寸包括槽的宽度尺寸、长度尺寸以及槽之间的横向间距及纵向间距。

7.如权利要求6所述的基于太赫兹波段的可调谐等离激元镊装置，其特征在于，基层材料包括二氧化硅、石英或玻璃，所述金属薄膜层材料包括金、银、铜或铝。

8.一种等离激元镊系统，其特征在于，其包括，

太赫兹产生模块，其用于产生太赫兹电磁波，

传输与聚焦模块，其用于连通所述太赫兹产生模块以传输和聚焦太赫兹波，

如权利要求1-7中任一项所述的基于太赫兹波段的可调谐等离激元镊装置，其接收来自传输与聚焦模块的太赫兹波。

9.一种权利要求1-7中任一项所述基于太赫兹波段的可调谐等离激元镊装置的等离激元镊操作方法，其特征在于，其包括以下步骤，

第一步骤，辐射太赫兹电磁波于所述可调谐等离激元镊装置，

第二步骤，槽的几何结构和/或尺寸使得太赫兹电磁波能量局域聚焦在槽的内部以在所述槽内部形成三维势阱力，

第三步骤，待捕获对象经由所述三维势阱力捕获于所述槽中。