[发明专利]一种新型小舟运输结构

说明书

本发明公开了一种新型小舟运输结构，包括小舟，舟桨和舟托；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；小舟包括顶板、底板和槽棒，顶板和底板通过槽棒连接；舟桨结构包括两侧设置把手的舟托和舟托配合对称设置的舟桨；舟托结构包括立板、侧板，立板和侧板形成矩形舟托；立板和/或侧板上设置贯穿孔；本发明提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种新型小舟运输结构。

技术领域

本发明涉及半导体或光伏材料加工领域，更具体的说，它涉及一种半导体的加工设备。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上，CVD技术是其中的一种处理方式，CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺，例如磷扩散、硼扩散等，都可以采用气体扩散的方式来对原材料进行加工，目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、石墨舟、小舟或者花篮。

传统的设备中，待加工材料的放置方式为竖直插片，在处理过程中，存在工艺气体流动受到干扰或遮挡导致待加工材料上镀膜不均匀的问题；竖直插片的形式还容易出现待加工材料变形，设备进行自动化插拔过程中容易导致待加工材料的碎片率过高，自动化程度困难。

发明内容

本发明克服了现有技术的不足，提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种新型小舟运输结构。

本发明的技术方案如下：

一种小舟运输结构，其特征在于：包括小舟、舟托和舟桨；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；小舟包括顶板、底板和槽棒，顶板和底板通过槽棒连接，槽棒分布在顶板和底板之间；每根槽棒上都分布设置槽口，且每根槽棒上相互对应的槽口处于同一水平面；其中，小舟还包括连接杆，连接杆连接相邻的两个槽棒；连接杆上设置把手，把手与整个小舟的重心处于同一水平面。

舟托包括立板、侧板，立板和侧板包围形成舟托；立板和/或侧板上设置贯穿孔；侧板上设置把手，把手设置在侧板两端，把手底部设置有安置槽；立板和/或侧板上分布贯穿孔，侧板的上边缘处设置定位槽，定位槽分布于侧板上边缘；定位槽内设置增加摩擦力的部件；

舟桨包括固定舟托的固定部和连接其控制设备的稳固部；固定部的厚度小于稳固部，固定部和稳固部之间设置平滑的过渡部；稳固部的一端设置固定结构；舟桨固定部设置一个或多个贯穿孔，贯穿孔的形状与舟桨固定部相适应；舟桨固定部的远离稳固部的一端上设置限位件；贯穿孔分布于固定部；限位件采用圆形凸台。

进一步的，顶板与底板平行设置；底板上设置贯穿孔或贯穿槽。

进一步的，相邻槽口之间的距离与相邻小舟之间的间距成倍数关系；槽口朝向与小舟整体形状相匹配。

进一步的，小舟采用非导电、耐高温、抗压材料；舟托采用非导电、耐高温、抗压材料。

进一步的，把手整体呈圆柱形或长方体；把手底部靠近侧板的一端或中间位置设置安置槽，安置槽采用圆形凹槽或矩形凹槽；或者把手底部远离侧板的一端设置安置槽，并在把手该端设置限位块。

进一步的，舟托和舟桨采用非导电、耐高温、抗压材料。

进一步的，还包括两侧设置把手的舟托，两个舟桨对称设置在舟托两侧。

进一步的，舟托上相应位置的把手上设置与舟桨相匹配的凹槽。