[发明专利]一种高精度激光干涉仪在审
| 申请号： | 201911011147.X | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110763135A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 张白;刘杰;杨来龙;王鹤 | 申请（专利权）人： | 北方民族大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 11590 北京市领专知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张玲;陈益思 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射镜组 固定直角 读数头 光电探测器 激光光 干涉 聚光透镜 两路 干涉现象 激光 镜像对称设置 高精度激光 相对位移量 直角反射镜 反射激光 激光干涉 透射激光 位移测量 反射镜 分光镜 干涉仪 激光束 激光源 移动 程差 入射 放大 检测 | ||
1.一种高精度激光干涉仪，其特征在于：包括：读数头、分别设置在读数头两侧的第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组，所述第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组镜像对称设置；
所述读数头包括：
激光源，用于发射激光束；
分光镜，用于接收激光源发射的激光束，并将接收到的激光束反射/透射至反射镜，以及透射/反射至移动直角反射镜组；
反射镜，用于接收分光镜反射/透射的激光束，并将接收到的激光束反射至移动直角反射镜组；
移动直角反射镜组，设置于第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组之间，用于接收反射镜反射的激光束，以及分光镜透射的激光束，并将反射镜反射的激光束、分光镜透射的激光束分别反射至第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组，经第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组与移动直角反射镜组之间多次反射后，最终将两束激光反射至聚光透镜；
聚光透镜，用于接收移动直角反射镜组反射的两束激光束，并将两束激光束透射至光电探测器上；
光电探测器，设置于聚光透镜的焦点位置，用于接收聚光透镜透射的激光束。
2.根据权利要求1所述的一种高精度激光干涉仪，其特征在于：所述读数头连接有移动装置，用于带动读数头向第一固定直角反射镜组或向第二固定直角反射镜组的方向平行移动。
3.根据权利要求2所述的一种高精度激光干涉仪，其特征在于：所述光电探测器连接有处理器，用于检测光电探测器上的干涉现象。
4.根据权利要求1所述的一种高精度激光干涉仪，其特征在于：所述一种高精度激光干涉仪设置于壳体内，且所述第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组固定设置于壳体内，所述读数头设置于壳体内，读数头能在壳体内向第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组的方向移动。
5.根据权利要求1所述的一种高精度激光干涉仪，其特征在于：所述分光镜与激光源发射的激光束呈45°夹角，且所述反射镜与分光镜平行设置。
6.根据权利要求1所述的一种高精度激光干涉仪，其特征在于：所述第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组均包括N个固定直角反射面。
7.根据权利要求6所述的一种高精度激光干涉仪，其特征在于：所述移动直角反射镜组包括2N个直角反射面。
8.根据权利要求7所述的一种高精度激光干涉仪，其特征在于：所述第一固定直角反射镜组的N个固定直角反射面与移动直角反射镜组的前/后N个直角反射面一一对应平行设置，所述第二固定直角反射镜组的N个固定直角反射面与移动直角反射镜组的后/前N个直角反射面一一对应平行设置。
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