[发明专利]一种具有尾气感测装置的船舶机构

权利要求书

1.一种气体感测元件的气体测量装置的使用方法，所述的气体感测元件包括包含氧化锌纳米柱，所述的氧化锌纳米柱由如下工艺制备而成：

第一步，裁切基板；

第二步，黄光制程：其中，黄光制程中，首先，利用旋转涂布机将正光阻剂均匀涂布在基板表面，分别先后进行两个转速的涂布，其中，第一转速为500rpm，旋涂时间10秒钟，第二转速为1300rpm，旋涂时间20秒钟；然后，软烤90秒，使正光阻剂成为固态薄膜并附着于基板上；然后，利用曝光机照射已有光阻剂的基板，使光罩上的图样转至基板上；最后，使用稀释后的显影剂去除多余光阻，形成第一坯件；

第三步，磁控溅射：其中，磁控溅射过程中，利用磁控射频溅射系统于室温下溅镀一层180nm厚的 ZnO薄膜于第一坯件上的光阻上，形成第二坯件，其中，磁控射频溅射系统包括真空室，真空室内设有旋转台，坯件可置放于旋转台上并可随旋转台旋转，旋转台上方设有靶材组件，靶材组件上设有ZnO靶，射频仪器能够向的靶材组件提供RF能量，真空室的上部还通过管路通道与Ar气瓶相联通，管路通道上还设有流量控制阀；

第四步，去光阻剂：去光阻剂过程中，将第二坯件置入丙酮中静候，等待第二坯件的光阻的颜色完全消失而成为透明的ZnO薄膜后，使用DI water洗净后利用氮气枪吹干，形成第三坯件；

第五步，水热合成：其中，水热合成过程中，将第三坯件置入水热反应压力釜中，倒入20%的六亚甲基四胺20ml和20%的二水合醋酸锌20 ml，在 95℃下反应5.5小时后自然冷却降温，形成氧化锌纳米柱；

其特征在于，

所述的气体测量装置包括量测腔室，其中，量测腔室由透明玻璃盖组成，透明玻璃盖直径约为13cm，量测腔室内设有量测底座，量测腔室分别通过测量管路与空气钢瓶和待测气体钢瓶连接，测量管路上还设有流量控制阀，气体测量装置还包括量测电表，量测电表与电脑连接，气体测量装置还包括UV光源架，UV光源架设于透明玻璃盖外并用支架固定；

所述的气体感测元件的气体测量装置的使用方法如下：将氧化锌纳米柱放置于电路板上，再使用导电银胶将氧化锌纳米柱连接上电极，并将连接好的电路板固定于量测底座中央，然后将电路板电路连接至电表上，将量测底座置于透明玻璃盖中央，空气钢瓶与待测气体钢瓶先进入流量控制阀控制各自的流量以便计算气体浓度，再汇入同一条管线流入透明玻璃盖。

2.根据权利要求1所述的一种气体感测元件的气体测量装置的使用方法，其特征在于，所述的基板为188μm厚的PET薄膜，裁剪为 1.5cm x 1.5cm大小，撕开保护膜使用，不需清洗。