[发明专利]MEMS镜特性的监控

权利要求书

1.一种监控微机电系统MEMS振荡结构的系统，包括：

微机电系统MEMS振荡结构，被配置为非线性谐振器，以围绕旋转轴振荡；

驱动器，被配置为根据操作响应曲线来生成用于驱动所述MEMS振荡结构围绕所述旋转轴的驱动力，在此期间，所述MEMS振荡结构处于谐振，所述驱动器还被配置为当所述MEMS振荡结构处于预定倾斜角时降低所述驱动力，以诱发所述MEMS振荡结构在衰减周期内的振荡衰减；

测量电路，被配置为测量所述MEMS振荡结构在所述衰减周期期间的振荡频率和倾斜角幅度；以及

至少一个处理器，被配置为基于测量的所述振荡频率和测量的所述倾斜角幅度中的至少一个来确定所述MEMS振荡结构的至少一个特性。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述振荡频率是所述MEMS振荡结构的零角频率。

3.根据权利要求2所述的系统，其中所述测量电路被配置为基于所述MEMS振荡结构在所述振荡衰减期间振荡通过零角范围来测量所述零角频率。

4.根据权利要求3所述的系统，其中所述至少一个处理器被配置为将所述零角频率与预期的零角频率进行比较，并且基于所述比较确定所述至少一个特性。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个处理器被配置为基于测量的所述振荡频率和测量的所述倾斜角幅度中的至少一个来测量所述衰减周期，将测量的所述衰减周期与预期衰减周期进行比较，并且基于所述比较确定所述至少一个特性。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个特性是所述MEMS振荡结构的阻尼系数和所述MEMS振荡结构的Q系数。

7.根据权利要求1所述的系统，还包括：

MEMS封装，所述MEMS封装中设置有所述MEMS振荡结构；

其中所述至少一个处理器被配置为基于测量的所述振荡频率和测量的所述倾斜角幅度中的至少一个确定所述MEMS封装内的压力，并且

其中所述至少一个处理器被配置为基于确定的所述压力补偿测量的所述振荡频率和测量的所述倾斜角幅度。

8.根据权利要求1所述的系统，还包括：

MEMS封装，所述MEMS封装中设置有所述MEMS振荡结构；

其中所述至少一个处理器被配置为基于测量的所述振荡频率和测量的所述倾斜角幅度中的至少一个来检测所述MEMS封装内的压力的变化。

9.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个处理器被配置为基于测量的所述倾斜角幅度生成倾斜角幅度衰减曲线，将所述倾斜角幅度衰减曲线与先前的倾斜角幅度衰减曲线进行比较，并且基于所述比较确定所述至少一个特性。

10.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个处理器被配置为基于测量的所述倾斜角幅度生成倾斜角幅度衰减曲线，确定所述倾斜角幅度衰减曲线的第一区域处的第一特性，确定所述倾斜角幅度衰减曲线的第二区域处的第二特性，并且基于所述第一特性和所述第二特性确定所述至少一个特性。

11.根据权利要求10所述的系统，其中所述至少一个处理器被配置为将所述第一特性和所述第二特性与预定值进行比较以生成比较结果，并且基于所述比较结果确定所述至少一个特性。

12.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个处理器被配置为接收来自温度传感器的温度测量，并且基于所述温度测量补偿测量的所述振荡频率和测量的所述倾斜角幅度。

13.根据权利要求1所述的系统，其中所述预定倾斜角是所述操作响应曲线上的回退点之前的最大倾斜角。

14.根据权利要求1所述的系统，其中所述驱动器被配置为断开所述驱动力，以诱发所述MEMS振荡结构的所述振荡衰减。