[发明专利]压电超声波传感器及其制备方法、显示装置

说明书

本发明提供一种压电超声波传感器及其制备方法、显示装置，涉及超声波传感器技术领域，能够提高压电超声波传感器的散热效率和散热性能。其中的压电超声波传感器包括：柔性衬底，设置于柔性衬底一侧的压电功能层；沿柔性衬底的厚度方向，压电功能层包括层叠的第一电极层、第一压电层和第二电极层；第一压电层位于第一电极层和第二电极层之间，且相对第二电极层，第一电极层更靠近柔性衬底；第一压电层的材料为压电材料；压电超声波传感器还包括：设置于压电功能层靠近柔性衬底一侧的导热层，导热层与柔性衬底以及压电功能层接触，且导热层与第一电极层相互绝缘；导热层的材料的热导率大于柔性衬底的材料的热导率。

技术领域

本发明涉及超声波传感器技术领域，尤其涉及一种压电超声波传感器及其制备方法、显示装置。

背景技术

超声波是一种具有频率高、波长短、方向性好、定向传播、穿透率高等优点的机械波。超声波传感器是将超声波信号转换成其他能量信号，通常是电信号的传感器。超声波传感器主要材料有压电晶体及镍铁铝合金两类。压电晶体组成的超声波传感器是一种可逆传感器，它可以将电能转变成机械振荡而产生超声波，同时当它接收到超声波时，也能转变成电能，所以超声波传感器可以包括发送型和接收型两类，但也存在既能发送，同时也能接收的超声波传感器。

发明内容

本发明的实施例提供一种压电超声波传感器及其制备方法、显示装置，能够提高压电超声波传感器的散热效率和散热性能。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一方面，提供一种压电超声波传感器，包括：柔性衬底，设置于所述柔性衬底一侧的压电功能层。

沿所述柔性衬底的厚度方向，所述压电功能层包括层叠的第一电极层、第一压电层和第二电极层；所述第一压电层位于所述第一电极层和所述第二电极层之间，且相对所述第二电极层，所述第一电极层更靠近所述柔性衬底；所述第一压电层的材料为压电材料。

所述压电超声波传感器还包括：设置于所述压电功能层靠近所述柔性衬底一侧的导热层，所述导热层与所述柔性衬底以及所述压电功能层接触，且所述导热层与所述第一电极层相互绝缘；所述导热层的材料的热导率大于所述柔性衬底的材料的热导率。

可选的，所述导热层包括多个相互间隔的导热柱，且所述导热柱嵌在所述柔性衬底中。

可选的，所述导热层还包括绝缘平坦子层，所述绝缘平坦子层朝向所述压电功能层的一侧表面平坦。

所述绝缘平坦子层位于所述导热柱与所述压电功能层之间，且所述导热柱与所述绝缘平坦子层为一体结构。

可选的，沿所述柔性衬底的厚度方向，所述导热柱的厚度等于所述柔性衬底的厚度，且所述导热柱的上表面与所述柔性衬底的上表面齐平，所述导热柱的下表面与所述柔性衬底的下表面齐平。

或者，所述导热柱的厚度等于所述柔性衬底厚度的一半。

可选的，所述导热层位于所述柔性衬底与所述压电功能层之间。

可选的，所述压电功能层远离所述柔性衬底的一侧还设有绝缘保护层。

可选的，所述压电功能层和所述绝缘保护层之间还设有辅助层，所述辅助层具有至少一个镂空部；

所述镂空部贯穿所述辅助层，所述压电功能层、所述辅助层和所述绝缘保护层在所述镂空部所在区域形成封闭的空腔。

或者，沿所述柔性衬底的厚度方向，所述镂空部的厚度小于所述辅助层的厚度，所述压电功能层和所述辅助层在所述镂空部所在区域形成封闭的空腔。

另一方面，提供一种显示装置，包括：柔性显示面板和压电超声波传感器，所述压电超声波传感器设置于所述柔性显示面板的与出光侧相对的另一侧。

所述压电超声波传感器为上述的压电超声波传感器。