[发明专利]双门卧式结构光学镜面真空数控增材设备在审

专利信息
申请号: 201911015066.7 申请日: 2019-10-24
公开(公告)号: CN110592549A 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 王晋峰 申请(专利权)人: 南京爱思菲瑞克光电科技有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210046 江苏省南京市栖霞区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 光学镜面 磁控溅射阴极 真空工作室 卧式结构 双门 三维移动机构 安装维护 垂直放置 放电问题 灰尘沉积 镜片移动 三维移动 系统光学 制造过程 大门 侧开 打火 数控 室内
【权利要求书】:

1.双门卧式结构光学镜面真空数控增材设备,其特征在于:包括真空工作室(4),真空工作室(4)内设有三维移动的磁控溅射阴极系统(5),真空工作室(4)采用卧式结构,双门侧开,左侧大门(1)用于三维移动机构的安装维护,右侧大门(2)设有用于镜片移动装置(3)的移动调整;

所述镜片移动装置(3)包括镜面烘烤系统(31)、镜面翻转系统(32)、镜面旋转系统(33)与镜面装夹定位系统(34);所述烘烤系统位于镜面翻转系统(32)的一侧,所述镜面旋转系统(33)安装在右侧大门(2)的一侧,所述镜面装夹定位系统(34)安装在右侧大门(2)的的另一侧。

2.根据权利要求1所述的双门卧式结构光学镜面真空数控增材设备,其特征在于:所述镜面烘烤系统(31)可以对整个镜面进行升温烘烤,通过对烘烤系统的设计,采用包围与反射热量的方式,温升主要控制在镜面范围。

3.根据权利要求1所述的双门卧式结构光学镜面真空数控增材设备,其特征在于:所述镜面翻转系统(32),装夹镜面时可以翻转至水平位置,且有锁定结构进行位置锁定,方便镜面的安装操作。

4.根据权利要求1所述的双门卧式结构光学镜面真空数控增材设备,其特征在于:所述镜面旋转系统(33),旋转系统传动电机位于一侧大门外部,通过磁流体密封轴连接至镜面装夹定位系统(34),装夹完成的镜面在真空、加热烘烤时可进行旋转,确保烘烤温度分布均匀。

5.根据权利要求1所述的双门卧式结构光学镜面真空数控增材设备,其特征在于:所述镜面装夹定位系统(34),安装平板上的径向沟槽用于固定镜面,径向方向的长度刻度用于镜面的定位;所述磁控溅射阴极系统(5)安装于真空工作室(4)中部,磁控溅射阴极系统(5)可上下、左右、前后移动,并设有位置限位保护。

6.根据权利要求1所述的双门卧式结构光学镜面真空数控增材设备,其特征在于:所述磁控溅射阴极系统(5)系统采用中频孪生溅射源或直流磁控溅射源,备有预溅射系统(51)与反溅射系统(52),用于靶材的预溅射与镜面的轰击清洗。

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