[发明专利]一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置

权利要求书

1.一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，其特征在于：包括校正平台、设备底座、主油缸系统、靶材顶出油缸系统和靶材翘曲度激光测量仪，所述校正平台安装在所述设备底座上方，所述主油缸系统包括主油缸支架和滑动安装在所述主油缸支架上的主油缸，所述主油缸位于所述校正平台上方，所述主油缸支架通过第一运动驱动机构可移动地安装在所述设备底座上；所述靶材顶出油缸系统包括两个以上靶材顶出油缸，各所述靶材顶出油缸分别通过一第二运动驱动机构可移动地安装在所述设备底座上，所述校正平台上表面对应每个所述靶材顶出油缸分别开设一用于所述靶材顶出油缸顶部伸出并滑移的顶出油缸滑槽；所述主油缸的侧面和所述校正平台的下方分别安装一所述靶材翘曲度激光测量仪。

2.根据权利要求1所述的用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，其特征在于：所述校正平台上还可拆卸安装有至少两个靶材定位块，定位时所述靶材定位块的接触面与靶材的接触面之间保持10°～15°的斜角。

3.根据权利要求1所述的用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，其特征在于：所述主油缸上安装有数控伺服比例阀，所述数控伺服比例阀能够根据靶材初始翘曲度的不同，自动控制所述主油缸下压的压力与距离。

4.根据权利要求1所述的用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，其特征在于：各所述靶材顶出油缸上分别安装一数控伺服比例阀，所述数控伺服比例阀能够控制所述靶材顶出油缸的顶出高度。

5.根据权利要求1所述的用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，其特征在于：所述靶材顶出油缸包括两个长条靶顶出油缸和四个方形靶顶出油缸；两个所述长条靶顶出油缸在所述校正平台的长度方向上对称设置，与两个所述长条靶顶出油缸对应的两个所述顶出油缸滑槽位于所述校正平台的长度方向轴线上；四个所述方形靶顶出油缸以所述长度方向轴线的中点为中心呈放射状分布，各所述方形靶顶出油缸对应的各所述顶出油缸滑槽两两对称设置，且每相对两个所述顶出油缸滑槽位于同一斜直线上，两条所述斜直线相交于所述长度方向轴线的中点。

6.根据权利要求5所述的用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，其特征在于：两条所述斜直线与所述长度方向轴线之间形成的锐角夹角均为38°。

7.根据权利要求1所述的用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，其特征在于：所述主油缸支架包括两个支撑架、连接在两个所述支撑架之间的第一滚珠丝杆以及配置在所述第一滚珠丝杆上的第一滚珠螺母，所述第一滚珠丝杆的一端连接第一电机减速机，所述主油缸安装在所述第一滚珠螺母上；两个所述支撑架分别通过一所述第一运动驱动机构对称安装在所述校正平台的两侧。

8.根据权利要求7所述的用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，其特征在于：所述第一运动驱动机构包括第二滚珠丝杆、连接于所述第二滚珠丝杆一端的第二电机减速机以及配置在所述第二滚珠丝杆上的第二滚珠螺母，所述第二滚珠丝杆沿所述校正平台的长度方向水平安装，所述支撑架安装在所述第二滚珠螺母上。

9.根据权利要求1所述的用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，其特征在于：所述第二运动驱动机构包括第三滚珠丝杆、连接于所述第三滚珠丝杆一端的伺服电机以及配置在所述第三滚珠丝杆上的第三滚珠螺母，各根所述第三滚珠丝杆分别沿对应所述顶出油缸滑槽的延伸方向水平安装，且每根所述第三滚珠丝杆的一侧分别配置有直线导轨。

10.根据权利要求2所述的用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，其特征在于：所述校正平台为矩形校正平台，所述矩形校正平台的四周分别设置一所述定位块。