[发明专利]发光二极管芯片及发光二极管芯片的制造方法有效
申请号: | 201911015317.1 | 申请日: | 2019-10-24 |
公开(公告)号: | CN110729387B | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 周弘毅;李俊贤;吕奇孟;李健;王锐 | 申请(专利权)人: | 厦门乾照光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/38 | 分类号: | H01L33/38;H01L33/44 |
代理公司: | 北京超成律师事务所 11646 | 代理人: | 刘静 |
地址: | 361100 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光二极管 芯片 制造 方法 | ||
1.一种发光二极管芯片,其特征在于,包括:
芯片主体;
设于所述芯片主体上的电极层;
设于所述电极层上的钝化保护层;
以及熔合保护层,所述熔合保护层位于所述电极层与所述钝化保护层之间,用于将所述钝化保护层与所述电极层进行隔离;
所述电极层与所述钝化保护层之间设有粘附层,所述粘附层用于将部分所述电极层与所述钝化保护层连接;
其中,所述粘附层位于所述熔合保护层表面。
2.根据权利要求1所述的发光二极管芯片,其特征在于,所述电极层包括:
设于所述芯片主体上的接触层;
设于所述接触层上的反射层;
设于所述反射层上的阻挡层;
以及设于所述阻挡层上的焊线层。
3.根据权利要求2所述的发光二极管芯片,其特征在于,
所述钝化保护层上设有开口;
所述焊线层上与所述开口位置对应的焊线区域裸露。
4.根据权利要求2所述的发光二极管芯片,其特征在于,
所述接触层的材料为镍。
5.根据权利要求2所述的发光二极管芯片,其特征在于,
所述反射层的材料为含铝元素的合金。
6.根据权利要求2所述的发光二极管芯片,其特征在于,
所述焊线层的材料为金。
7.根据权利要求1-6任一项所述的发光二极管芯片,其特征在于,
所述电极层的侧壁延伸方向与底面之间的角度为45°-80°。
8.根据权利要求1-6任一项所述的发光二极管芯片,其特征在于,所述芯片主体包括:
衬底;
设于所述衬底上的第一半导体层;
设于部分所述第一半导体层上的发光层;
设于所述发光层上的第二半导体层;
设于所述第二半导体层上的透明导电层;
其中,所述电极层设于所述透明导电层以及所述第一半导体层上。
9.一种发光二极管芯片的制造方法,其特征在于,所述方法包括:
在芯片主体上形成电极层;
在所述电极层上形成钝化保护层;
对所述电极层进行高温处理,以使所述电极层中的多层金属部分熔合,形成熔合保护层,实现所述钝化保护层与所述电极层之间的隔离。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述在所述电极层上形成钝化保护层,包括:
在所述电极层上形成粘附层;
在所述粘附层上形成钝化保护层。
11.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述对所述电极层进行高温处理,包括:
以温度范围为200-300摄氏度的温度对所述电极层进行高温熔合处理。
12.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述在芯片主体上形成电极层,包括:
在所述芯片主体上形成接触层;
在所述接触层上形成反射层;
在所述反射层上形成阻挡层;
在所述阻挡层上形成焊线层。
13.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,在所述电极层上形成钝化保护层之后,所述方法还包括:
对所述电极层上的部分钝化保护层进行刻蚀,以使所述电极层中的焊线区域裸露。
14.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述在芯片主体上形成电极层之前,所述方法还包括:
在衬底上形成第一半导体层;
在部分所述第一半导体层上形成发光层;
在所述发光层上形成第二半导体层;
对所述第二半导体层以及所述发光层进行刻蚀,以使所述第一半导体层的第一区域裸露;
在所述第二半导体层的未刻蚀部分形成透明导电层,得到所述芯片主体。
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