[发明专利]存储器装置

说明书

本发明公开了一种存储器装置，包括通道元件、存储元件及电极元件。通道元件包括第一通道部、第二通道部及中间通道部。中间通道部在第一通道部与第二通道部之间。第一通道部具有相对的第一侧壁通道表面与第二侧壁通道表面。中间通道部具有相对的第三侧壁通道表面与第四侧壁通道表面。第一通道部的第一侧壁通道表面与第二侧壁通道表面是分别在中间通道部的第三侧壁通道表面与第四侧壁通道表面的外侧。存储单元定义在通道元件与电极元件之间的存储元件中。

技术领域

本发明是有关于一种存储器装置。

背景技术

随着集成电路中元件的关键尺寸逐渐缩小至工艺技术所能感知的极限，设计者已经开始寻找可达到更大存储器密度的技术，从而达到较低的位成本(costs per bit)。

发明内容

本发明系有关于一种存储器装置。

根据本发明的一方面，提出一种存储器装置。存储器装置包括通道元件、存储元件及电极元件。通道元件包括第一通道部、第二通道部及中间通道部。中间通道部在第一通道部与第二通道部之间。第一通道部具有相对的第一侧壁通道表面与第二侧壁通道表面。中间通道部具有相对的第三侧壁通道表面与第四侧壁通道表面。第一通道部的第一侧壁通道表面与第二侧壁通道表面是分别在中间通道部的第三侧壁通道表面与第四侧壁通道表面的外侧。存储单元定义在通道元件与电极元件之间的存储元件中。

根据本发明的另一方面，提出一种存储器装置。存储器装置包括通道元件、存储元件及电极元件。存储元件包括第一存储部、第二存储部及中间存储部。中间存储部在第一存储部与第二存储部之间。第一存储部具有相对的第一外侧壁存储表面与第二外侧壁存储表面。中间存储部具有相对的一第三外侧壁存储表面与第四外侧壁存储表面。第一存储部的第一外侧壁存储表面与第二外侧壁存储表面是分别在中间存储部的第三外侧壁存储表面与第四外侧壁存储表面的外侧。存储单元定义在通道元件与电极元件之间的存储元件中。

根据本发明的又另一方面，提出一种存储器装置。存储器装置包括绝缘元件、通道元件、存储元件及电极元件。绝缘元件具有直条纹形状。通道元件环绕绝缘元件的侧壁表面。存储单元定义在通道元件与电极元件之间的存储元件中。

为了对本发明的上述及其他方面有更好的了解，下文特举实施例，并配合所附附图详细说明如下：

附图说明

图1为一实施例的存储器装置的剖面图。

图2为另一实施例的存储器装置的剖面图。

图3为另一实施例的存储器装置的剖面图。

图4为另一实施例的存储器装置的剖面图。

图5A至图17B绘示根据实施例的存储器装置的制造方法。

图18绘示根据实施例的存储器装置的剖面图。

图19A绘示根据实施例的存储器装置的剖面图。

图19B绘示根据实施例的存储器装置的剖面图。

【符号说明】

100：通道元件

110：第一通道部

112：第一侧壁通道表面

114：第二侧壁通道表面

120：第二通道部

122：第五侧壁通道表面

124：第六侧壁通道表面

130：中间通道部

132：第三侧壁通道表面

134：第四侧壁通道表面