[发明专利]隔离壁用感光性树脂组合物、硬化物及隔离壁的制造方法在审
申请号: | 201911021895.6 | 申请日: | 2019-10-25 |
公开(公告)号: | CN111103760A | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 小野悠树;今野高志 | 申请(专利权)人: | 日铁化学材料株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/09 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本东京中央*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 隔离 感光性 树脂 组合 硬化 制造 方法 | ||
1.一种隔离壁用感光性树脂组合物,包含:
A成分,含有不饱和基的感光性树脂;
B成分,末端具有两个以上的乙烯性聚合性基的树枝状聚合物;以及
C成分,光聚合引发剂。
2.根据权利要求1所述的隔离壁用感光性树脂组合物,其特征在于:
所述A成分为使由通式(1)所表示的双酚类衍生的具有两个缩水甘油醚基的环氧化合物与(甲基)丙烯酸的反应物、进而和多元羧酸或其酐进行反应而获得的含有不饱和基的感光性树脂:
式(1)中,R1、R2、R3及R4分别独立地为氢原子、碳数1~5的烷基或卤素原子的任一者,X表示-CO-、-SO2-、-C(CF3)2-、-Si(CH3)2-、-CH2-、-C(CH3)2-、-O-、通式(2)所表示的芴-9,9-二基或单键,l为0~10的整数;
3.根据权利要求1或2所述的隔离壁用感光性树脂组合物,其特征在于:
所述B成分为在通式(3)所表示的多官能(甲基)丙烯酸酯的(甲基)丙烯酰基中的碳-碳双键的一部分上加成通式(4)所表示的多元巯基化合物而获得的树枝状聚合物:
式(3)中,R5表示氢或碳数1~4的烷基,R6表示将多元醇R7(OH)m的m个羟基中的n个羟基供予至通式(3)中的酯键后的残留部分,m表示2~20的整数,n表示2~20的整数,m≧n;
式(4)中,R8为单键或2价~6价的含有碳数1~6的烃基的基,p在R8为单键时为2,在R8为2价~6价的基时表示2~6的整数。
4.根据权利要求1或2所述的隔离壁用感光性树脂组合物,其特征在于:所述隔离壁用感光性树脂组合物包含疏墨水剂作为D成分。
5.根据权利要求1或2所述的隔离壁用感光性树脂组合物,其特征在于:所述隔离壁用感光性树脂组合物包含选自黑色颜料、混色有机颜料及白色颜料中的至少一种着色剂作为E成分。
6.一种硬化物,其是使如权利要求1至5中任一项所述的隔离壁用感光性树脂组合物硬化而成。
7.一种隔离壁的制造方法,包括:
将E成分为黑色颜料或混色有机颜料的如权利要求1至4中任一项所述的隔离壁用感光性树脂组合物涂布于基板上而形成涂膜并使所述涂膜干燥的工序;
利用紫外线曝光装置对所述涂膜进行曝光的工序;以及
对所述涂膜利用碱性水溶液进行显影并进行热煅烧的工序,所述隔离壁的制造方法的特征在于:
隔离壁的光密度为0.2/μm~4.0/μm。
8.一种隔离壁的制造方法,包括:
将E成分为白色颜料的如权利要求1至4中任一项所述的隔离壁用感光性树脂组合物涂布于基板上而形成涂膜并使所述涂膜干燥的工序;
利用紫外线曝光装置对所述涂膜进行曝光的工序;以及
对所述涂膜利用碱性水溶液进行显影并进行热煅烧的工序,所述隔离壁的制造方法的特征在于:
隔离壁的光密度为0.1/μm~0.3/μm。
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