[发明专利]一种阳极封孔堵头及其密封方法在审

专利信息
申请号: 201911023160.7 申请日: 2019-10-25
公开(公告)号: CN111300031A 公开(公告)日: 2020-06-19
发明(设计)人: 程石涛;牛建新;戴峰泽;叶云霞;任旭东 申请(专利权)人: 托伦斯半导体设备启东有限公司;江苏大学
主分类号: B23P21/00 分类号: B23P21/00;F16J15/02
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 卢霞
地址: 226200 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 阳极 封孔堵头 及其 密封 方法
【权利要求书】:

1.一种阳极封孔堵头,包括升封盖(1)、堵头(2)、内塞(3)、弹簧(4)和挡块(5),其特征在于还包括:封盖(1)覆盖在堵头(2)的左端;堵头(2)的密封面(22)为圆锥面,密封面(22)的锥度为1:6,堵头(2)内部开设有圆锥孔(21),圆锥孔(21)的锥度为1:9;内塞(3)的圆锥面(31)与堵头(2)的圆锥孔(21)相配合,圆锥面(31)的锥度为1:9;内塞(3)的右端通过弹簧(4)与挡块(5)相连,弹簧(4)内有预紧拉力;挡块(5)开设有透气孔(51);堵头(2)安装在工件(6)的盲孔(61)内。

2.根据权利要求1所述的一种阳极封孔堵头,其特征在于:所述的堵头(2)为硅胶材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种阳极封孔堵头,其特征在于:所述的内塞(3)为铝合金材料制成。

4.根据权利要求1-3所述的一种阳极封孔堵头的密封方法,其特征在于包括下列步骤:

步骤一,将堵头(2)右侧的封盖(1)移除;

步骤二,将堵头(2)塞入工件(6)的盲孔(61)内;

步骤三,将内塞(3)向右移动5mm;

步骤四,保持内塞(3)的位置,使用真空泵对堵头(2)的内孔(21)抽气,直至工件(6)的盲孔(61)接近真空;

步骤五,释放内塞(3),内塞(3)在弹簧(4)的作用下向右移动至原位;

步骤六,将封盖(1)盖在堵头(2)的右侧。

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