[发明专利]一种旋转靶材的绑定方法

权利要求书

1.一种旋转靶材的绑定方法，其特征在于：采用的绑定装置包括加热平台（1）、模具底座（2）、外加热装置（4）、内加热装置（10）、上端盖（9）、靶材压块（5）、压杆（8）、铟槽（11）和铟槽加热装置，模具底座开有进铟通道（21），铟槽和进铟通道之间通过铟管道（12）连通，铟管道外部设置有管道加热装置（13），铟管道上设置有阀门（14）；

该绑定方法包括以下步骤：

（一）将靶材（3）和背管（7）进行粗化处理；

（二）将靶材与背管分别进行金属化处理；

（三）在步骤（二）处理后的常温的靶材内壁和背管外壁均匀涂覆一层助焊剂；

（四）将N节靶材分别组装至背管外侧，N的取值为1-10，将内加热装置置于背管中，将背管放置在模具底座内，靶材放置在模具底座上，模具底座和内加热管均放置在加热平台上；外加热装置套装在靶材外侧并位于模具底座上，靶材顶端面通过靶材压块压紧，上端盖放置在靶材压块、背管和内加热装置上，上端盖、靶材压块和背管之间形成铟溢流槽（6），铟溢流槽位置的上端盖上还开有铟溢流口（61），压杆放置在上端盖上，所述模具底座与背管之间、靶材压块与上端盖之间均设置有密封圈，背管与靶材之间形成焊缝空间，焊缝空间分别与进铟通道、铟溢流槽连通；

（五）控制好N节靶材的同轴度后，通过压杆施加压力压紧上端盖，开启加热平台、内加热装置、外加热装置、管道加热装置和铟槽加热装置进行加热，待靶材和背管的温度达到预定温度后，打开铟管道上的阀门，使达到预定温度的铟液从模具底座的铟通道注入由背管与靶材形成的焊缝空间内，铟液缓慢上升直至充满铟溢流槽，此时关闭阀门停止注铟；

（六）关闭加热平台、内加热装置、管道加热装置和铟槽加热装置停止加热，同时控制外加热装置使靶材逐步冷却，当铟溢流槽内的铟冷却凝固后，关闭外加热装置，使靶材冷却至室温。

2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材的绑定方法，其特征在于：所述外加热装置是具有分段加热功能的加热设备，步骤（六）中，控制外加热装置，按自下往上的顺序，分段使靶材冷却。

3.根据权利要求1或2所述的一种旋转靶材的绑定方法，其特征在于：铟管道外部设置有管道加热装置，即在铟管道外侧包裹柔性加热带。