[发明专利]电极具有空隙层的体声波谐振器、滤波器及电子设备

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极；

顶电极；和

压电层，设置在底电极与顶电极之间，

其中：

底电极和顶电极中的一个为第一间隙电极，所述第一间隙电极具有第一电极与第二电极，第一电极与压电层面接触，第二电极远离压电层，且空隙层在谐振器的厚度方向上位于第一电极与第二电极之间，第一电极与第二电极在电连接部处电连接，所述电连接部限定空隙层的边界的至少一部分，且

其中：

所述谐振器还包括电学隔离部，所述电学隔离部的内侧限定谐振器的有效区域的在谐振器的横向方向上的边界；且

在谐振器的横向方向上所述电连接部的内侧位于电学隔离部的内侧之外。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述电连接部在谐振器的厚度方向上的投影落入所述电学隔离部之内。

3.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述第一间隙电极为顶电极；

所述电连接部包括在第一间隙电极的引脚端位于有效区域之外的第一电连接部，且所述第一电连接部在谐振器的横向方向上位于底电极的非引脚端的外侧。

4.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述第一间隙电极为顶电极，所述第一间隙电极的第一电极的非引脚端设置有悬翼结构；

所述电连接部包括在第一间隙电极的非引脚端位于有效区域之外的第二电连接部，所述第二电连接部位于所述悬翼结构上；

所述电学隔离部包括由所述悬翼结构与所述压电层之间的空间形成的电学隔离部。

5.根据权利要求3所述的谐振器，其中：

所述第一间隙电极为顶电极，所述第一间隙电极的第一电极的非引脚端设置有悬翼结构；

所述电连接部包括在第一间隙电极的非引脚端位于有效区域之外的第二电连接部，所述第二电连接部位于所述悬翼结构上；

所述电学隔离部包括由所述悬翼结构与所述压电层之间的空间形成的电学隔离部。

6.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述电学隔离部填充有介电材料。

7.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述第一间隙电极为顶电极，所述第一间隙电极的第一电极在其引脚端设置有桥结构；

所述电连接部包括在第一间隙电极的引脚端位于有效区域之外的第一电连接部，所述第一电连接部部分位于所述桥结构上；

所述电学隔离部包括由所述桥结构与压电层之间的空间形成的电学隔离部；

在谐振器的厚度方向上，所述底电极位于第一间隙电极引脚端投影内的非引脚端落入到桥结构的投影之内。

8.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述电学隔离部包括设置在压电层的凹陷部，所述凹陷部的内侧限定所述有效区域的边界。

9.根据权利要求8所述的谐振器，其中：

所述凹陷部填充有介电材料。

10.根据权利要求8所述的谐振器，其中：

所述电连接部包括在第一间隙电极的引脚端位于有效区域之外的第一电连接部，以及在第一间隙电极的非引脚端位于有效区域之外的第二电连接部。

11.根据权利要求10所述的谐振器，其中：

所述凹陷部的外侧在谐振器的横向方向上位于第二电连接部的外侧，或者所述凹陷部的外侧在谐振器的厚度方向上与第二电连接部的外侧齐平。

12.根据权利要求11所述的谐振器，其中：

所述第一间隙电极为顶电极；

在谐振器的厚度方向上，位于顶电极引脚端投影内的底电极的非引脚端的投影落入到对应凹陷部的投影之内。