[发明专利]电极具有空隙层的体声波谐振器、滤波器及电子设备

说明书

本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：底电极和/或顶电极为间隙电极，间隙电极包括空隙层、第一电极和第二电极，在谐振器的厚度方向上空隙层形成在第一电极与第二电极之间，第一电极与压电层形成面接触；且间隙电极包括处于第一电极侧的第一表面，处于第二电极侧的第二表面，第一表面与第二表面在谐振器的厚度方向上彼此相对，且空隙层位于第一表面与第二表面之间；谐振器还包括自第一表面和/或第二表面在谐振器的厚度方向上延伸到空隙层中的多个突起，突起的延伸高度小于空隙层的厚度。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备。

技术领域

本发明的实施例涉及半导体领域，尤其涉及一种体声波谐振器、一种具有该谐振器的滤波器，以及一种具有该谐振器或者该滤波器的电子设备。

背景技术

电子器件作为电子设备的基本元素，已经被广泛应用，其应用范围包括移动电话、汽车、家电设备等。此外，未来即将改变世界的人工智能、物联网、 5G通讯等技术仍然需要依靠电子器件作为基础。

电子器件根据不同工作原理可以发挥不同的特性与优势，在所有电子器件中，利用压电效应(或逆压电效应)工作的器件是其中很重要一类，压电器件有着非常广泛的应用情景。薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator，简称FBAR，又称为体声波谐振器，也称BAW)作为压电器件的重要成员正在通信领域发挥着重要作用，特别是FBAR滤波器在射频滤波器领域市场占有份额越来越大，FBAR具有尺寸小、谐振频率高、品质因数高、功率容量大、滚降效应好等优良特性，其滤波器正在逐步取代传统的声表面波(SAW)滤波器和陶瓷滤波器，在无线通信射频领域发挥巨大作用，其高灵敏度的优势也能应用到生物、物理、医学等传感领域。

薄膜体声波谐振器的结构主体为由电极-压电薄膜-电极组成的“三明治”结构，即两层金属电极层之间夹一层压电材料。通过在两电极间输入正弦信号， FBAR利用逆压电效应将输入电信号转换为机械谐振，并且再利用压电效应将机械谐振转换为电信号输出。

通信技术的快速发展要求滤波器工作频率不断提高，例如5G通信频段 (sub-6G)的频率在3GHz-6GHz,频率高于4G等通信技术。对于体声波谐振器和滤波器，高工作频率意味着薄膜厚度尤其是电极的薄膜厚度，要进一步减小；然而电极薄膜厚度的减小带来的主要负面效应为电学损耗增加导致的谐振器Q 值降低，尤其是串联谐振点及其频率附近处的Q值降低；相应地，高工作频率体声波滤波器的性能也随着体声波谐振器的Q值降低而大幅恶化。

已经提出一种在电极中设置空隙层来提高体声波性能的技术方案。

发明内容

为了进一步提高电极含有空隙层的体声波谐振器的性能，或保证其性能在工作时具有良好的稳定性，提出本发明。

根据本发明的实施例的一个方面，提出了一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极；

顶电极；和

压电层，设置在底电极与顶电极之间，

其中：

底电极和/或顶电极为间隙电极，所述间隙电极包括空隙层、第一电极和第二电极，在谐振器的厚度方向上所述空隙层形成在第一电极与第二电极之间，第一电极与压电层形成面接触；且

所述间隙电极包括处于第一电极侧的第一表面，处于第二电极侧的第二表面，第一表面与第二表面在谐振器的厚度方向上彼此相对，且空隙层位于第一表面与第二表面之间；

所述谐振器还包括自第一表面和/或第二表面在谐振器的厚度方向上延伸到空隙层中的多个突起，所述突起的延伸高度小于空隙层的厚度。